空圧の加圧システムで必要な流量は？

ある加圧システムで0.98Mpaで供給する必要流量がしりたいです。

二次側システムは以下です。
まず0.98Mpaをエアフィルターを通したあとに
20Lエアタンクに0.98Mpaでバッファします。その後、エアタンク吐出口から1/2Rcのワンタッチ接ぎ手で内径Φ10のエアチューブ200mm程度出し、電空レギュレーターを介し
0.5Mpaまで落とします。そこから電空レギュレーター吐出口から同じく1/2Rcワンタッチ接ぎ手とエアチューブで60Aの鋼管マニホールド、長さ800mmの中心付近に1/2Rcとエアチューブで接続します。

そのマニホールドから同じ方法で7本の内径Φ10エアチューブを並列で同配列ピッチでそれぞれ1200mm出し、その先にはそれぞれ内容積0.036Lの加圧チャンバーが7個取り付けられます。この接続も1/2Rcワンタッチ接手とエアチューブです。

このチャンバーは大気圧状態から0.5secの間加圧と、そのあとに0.1秒間の大気解放を7チャンバー同時に10回繰り返します。＝加圧時間は5秒間です。

一分間ではこのサイクルを5回繰り返します。よってトータルの加圧されている時間は25秒間です。

加圧には必要条件があり、加圧開始から0.05secで0.5Mpaに到達する必要があります。残りの0.45secは加圧保持時間です。

その後、先に書いたように0.1秒間の待機解放します。

この条件で、0.05secの間に昇圧しきるためのに、一次側0.98Mpaが必要な流量はいくらでしょうか？