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困ってます
スパッタ蒸着のバラツキに関して
2023/05/27 12:27
スパッタ蒸着で反射面のバラツキに関して困っています。
目視で確認する限りでは色味に変化はないのですが
反射面の光度が安定しない現象が起きています。
※OKWAVEより補足：「技術の森( 表面処理技術)」についての質問です。
回答 （2件中 1～2件目)
2023/05/27 14:24
回答No.2
まずはワークを顕微鏡やマイクロスコープなどで、詳細に拡大観察してみる事をおススメします。
スパッタ蒸着に限らずですが、表面の粗さが違うとか、微小な穴や粒子状の物があるとか、そうした事で光の加減は変わってきます。「光度が安定しないのは何故か」を掴むことが第一だと思います。
そのためには、サンプルをより子細に観察するのが最も効果的です。
このQ&Aは役に立ちましたか？
2023/05/27 12:42
回答No.1
スパッタターゲットを交換してみてはいかがでしょうか？
消耗や摩耗による不均一性が生じているのかもしれません。
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