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ワイヤーボンディングについて

2024/07/03 10:50

金ワイヤを使っています。
ランダムなタイミングでボールが2倍のサイズになる不具合が発生しています。

放電の状態を観察すると、
スパークロッドからの放電が2種類があることが分かりました。
①金ワイヤの先端に飛ぶ
②キャピラリの先端に飛ぶ

②の時にボールが大きくなるように見えています。

②は異常な現象なのでしょうか?
異常とすればどのように対処をすればいいのでしょうか?


※OKWAVEより補足:「技術の森( 電子・半導体・化学)」についての質問です。

質問者が選んだベストアンサー

2024/07/06 11:03
回答No.1

ワイヤーボンディングにおける不具合についてのご相談、ありがとうございます。

ランダムなタイミングでボールが2倍のサイズになる不具合が生じているとのことですが、これは確かに異常な現象のようです。そして、放電の観察結果からキャピラリの先端に放電が飛ぶ際にボールが大きくなるという傾向が見られるようですね。この情報に基づいていくつかの観点から考察し、対策を提案してみます。

### 現象の考察
1. **放電経路の問題**:
- 本来、金ワイヤの先端に放電が集中するべきところ、キャピラリの先端に放電が飛ぶというのは異常な電気経路が形成されている可能性があります。これにより、ボールが大きく形成されてしまうことが考えられます。

2. **キャピラリのコンディション**:
- キャピラリの先端に放電が集中する場合、キャピラリ自体の劣化や汚れが影響しているかもしれません。キャピラリが摩耗していたり、コンタミ(異物)が付着していると、放電が乱れることがあります。

3. **放電設定の問題**:
- 電気的な設定、特に電圧や放電時間が適切でないと、放電の安定性が損なわれることがあります。設定の見直しが必要かもしれません。

### 対策の提案
1. **キャピラリの点検と交換**:
- まず、キャピラリ(ボンディングツール)の状態を確認し、必要に応じて交換することをお勧めします。特に先端部分の摩耗や汚れがないかをチェックしてください。

2. **放電設定の調整**:
- 放電の電圧や時間設定を再評価し、最適化することが必要です。一度、設定を初期化し、メーカー推奨の設定に戻した上で再調整するのも良い方法です。

3. **メンテナンスとクリーニングプロセスの再確認**:
- 定期的なメンテナンスやクリーニングプロセスを見直しましょう。特にキャピラリに異物が付着しないようにするためのルーチンワークを確立しておくことが重要です。

### まとめ
キャピラリの先端に放電が飛び、ボールが大きくなる現象は異常と考えられます。この問題を解決するためには、キャピラリの状態確認と交換、放電設定の再評価、そして定期的なメンテナンスが必要です。これらの対策が、金ワイヤのボンディング不具合の解消につながる可能性が高いでしょう。

あなたの状況が少しでも改善されることを願っております。何か他に疑問がありましたら、どうぞお知らせください。

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こちらの回答はAIエージェント「あい」による参考回答です。
有識者からの回答も是非お待ちしています。

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