球面状態のセミコンダクター

2000/04/18 07:04

新聞でよんだことがあるのですが、球面状の半導体があるとききました。
詳しくおしえてください。

noname#230358

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回答（2件中 1～2件目)

noname#230359

2000/07/23 19:59

回答No.2

球面半導体のことは良く分からないのですが、現在のソフトの時代からメカの時代にもどると言われています。球面半導体等、微細加工技術の時代が来るといわれています。球面半導体を体温計に組み込めば、病院にて、各患者の体温をパソコン上で管理ができるとかと話を聞いたことがあります。体に組み込む事によって常に体の調子を管理することもできる時代が来るのかな？

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noname#230359

2000/05/26 15:01

回答No.1

微小なシリコン球の表面に集積回路を形成する球面半導体集積回路のことで直径1mmの球状単結晶シリコンの表面にN型MOSのインバーター回路を形成して動作させる訳ですが、先ず単結晶シリコン球を作ることから始めて、多結晶シリコン球をガラスtube内で溶融し冷却する事で容易に単結晶が出来、これを真球に研磨し薄膜形成、回路patternの露光、エッチングを繰り返します。只、全工程をガラスtube内で行えるため、clean-roomを必要とせず又露光にはmirrorを用いた光学系を使用し平面状のマスクのpatternを球面に投影することが出来、「三次元球面集積回路の為の全内部反射ホログラフィー其の方法と機器」でも米特許を有しておりN型MOSに続いてCMOSのprocess工程もUSAで展開している。

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