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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:スパッタ用ターゲットの作製について)

スパッタ用ターゲットの作製方法とは?

2023/10/12 22:25

このQ&Aのポイント
  • スパッタ用ターゲットを作る方法について初心者向けに解説します。
  • ターゲットの作り方や必要な材料について説明します。
  • ターゲットを作るための参考文献や論文を紹介します。
※ 以下は、質問の原文です

スパッタ用ターゲットの作製について

2002/09/13 14:48

かなり初心者な質問でお恥ずかしいのですが

ターゲットってどのようにして
作製するものなのでしょうか?
某先生より、ターゲットは
2種類の希土類のものを混ぜて作れと
言われたのですが、
情けない話ですが、
この辺の技術について
まったくうといためわかりません。
調べたいのですが
何を調べていいのかもわからない状態です。
どなたか教えてください。
1.混ぜるって、ホントに2つを混ぜればいいのでしょうか?
2.希土類を混ぜ合わせて作った前歴あるのか?
etc.
よろしくお願い致します。
参考になる
論文や本でもいいのでお願いします。

できれば日本語でよろしくお願いします。

回答 (2件中 1~2件目)

2002/09/15 23:45
回答No.2

スパッタ法を用いて薄膜を作製していたものです。
参考になるか分かりませんが、自分がターゲットを
作ったときには薄膜を作りたい材料(例えば、Ag薄膜ならばAg)の塊をバッキングプレートと呼ばれるプレートに接着用の導電性樹脂などで貼り付けて作っていました。希土類が何か関係しているかはよくわかりません。

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2002/09/14 01:29
回答No.1

こんにちは
すっごく外しているかもしれませんが、
私の職場では、ここから購入しています。
合金のターゲットも作ってくれます。
ゼロから自分で作るのは、たいへんすぎるのでは...

お礼

2002/09/14 11:26

ご回答感謝いたします。
ありがとうございました。
参考にさせて頂きます。

質問者

お礼をおくりました

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