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真空チャンバー中で使用できる導線について
2023/10/12 23:37
- 真空チャンバー中での導線選びについて考えてみましょう。
- 導線には1,パルス幅数百ナノ秒、立ち上がり数十ナノ秒、電圧400Vのパルス電圧と2,周波数1MHz,振幅2500Vまでの電圧がかかる可能性があります。
- 細い導線を選ぶことで、真空チャンバー内のスペースを有効に活用できます。
真空チャンバー中で使用できる導線について
2002/06/29 08:06
真空チャンバー中(圧力は1*10-5Pa程度です。)にあるプレートに,以下の2種類の電圧をかけようと思っています。
1,パルス幅数百ナノ秒、立ち上がり数十ナノ秒、電圧400V(バイアスとして1kVぐらいをかける予定)のパルス電圧
2,周波数1MHz,振幅2500Vまで(Vp-pなら5000Vということです。）
できる限り細い導線で対応したいのですが、どなたか対応できる導線を教えてください。よろしくお願いします。
質問者が選んだベストアンサー
以前に真空内配線にフッ素系電線を使用した経緯があります。
真空内でのガス放出が一番少ない電線だと思います。
なるべく被服無しの電線を使用したほうが良いと思われますが、使用するガスなどの特性や高周波などでの影響を考慮するとフッ素系かフッ素系のチューブを被せて配線することが良いかと思います。
高周波用のフッ素系電線もあると思いますので、潤工社や日星電線などのHPで調べてみいたらどうでしょうか？
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その他の回答 （2件中 1～2件目)
できるかぎり細い電線で対応したいという主旨にはそえないと思いますが・・・
放電を考慮する真空度ではないので、単純に電線の耐圧を考えればよいと思います。
質問の装置の給電部分の絶縁も重要なので、併せてお考えいただいたほうがよいかと思います。
１、の例では、最大1.4kVの電圧に耐える絶縁被覆線を選べばよいでしょう。立ち上がりの早い信号を扱うのであれば、テフロンなどのフッ素樹脂を絶縁材にした電線がよいと思います。
２、の例では、Vp-p５ｋVということなので、１に比べ高圧となりますから、絶縁をまず考えるべきだと思います。
電線の絶縁電圧はすべてJIS規格で規定されていますのでそれを参考に。
補足
2002/07/02 09:02
1のパルス電圧はともかく、2のほうに関しては、真空に対応できるだけでなく周波数の対応も必要であるように思います。耐圧のみを考慮しただけで周波数対応を考えなくていいのかどうか非常に不安です。
お礼
2002/07/02 09:00
早速、調べてみようと思います。
お返事どうもありがとうございました。