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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:DLC加工について)

DLC処理によるSUS304の範囲限定加工の可能性について

2023/10/13 04:21

このQ&Aのポイント
  • 0.07(t)のSUS304にDLC処理を範囲限定で行いたいと考えています。
  • 処理範囲は、L寸250mm W寸20mmに対し3mm程度で両面です。
  • DLC処理によるSUS304の範囲限定加工を行うことが可能かどうかを知りたいです。
※ 以下は、質問の原文です

DLC加工について

2003/12/08 23:27

0.07(t)のSUS304にDLC処理を範囲限定で行ないたいのですが可能なのでしょうか?
処理範囲は、L寸250mm W寸20mmに対し3mm程度で両面です。

もし囲う可能な所知っていれば教えてください。

質問者が選んだベストアンサー

ベストアンサー
2003/12/09 08:16
回答No.1

マスクは可能ですが、DLCは大変応力が大きいため、
膜厚次第では基材がロールします。処理温度は、約200℃程度ですので、金属で挟み込むようなマスクを作る必要があります。マスク精度がどの程度かで、マスク治具の設計考慮が要ります。また、レジスト等をマスク用いて、露光パターニングを施し、空いた部分に成膜する方法もありますが、かなり高価になります。

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