ワイヤーボンディングのＡｌパッド面の酸化膜について

2004/07/18 21:33

ワイヤーボンディングでのＡｕワイヤーとＡｌパッドとの合金形成の阻害要因となるパッド面の酸化膜について聞きたいのですが・・
１．その厚さはだいだいどの程度でしょうか？
２．またその厚さを測る方法はありますか？
３．膜により破りやすい、破りにくいなどの違いはあるのでしょうか？
以上、宜しくお願いします。

noname#230358

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ベストアンサー

noname#230359

2004/07/20 13:27

回答No.1

１、酸化膜の厚さは一般的に50Å前後だと思います。
60Åを超えていくと明らかな着き性の低下が見られ、40Å以下であると着き性の向上が見られます。

２、少々高価な測定器となりますが、ESCA（極表面X線分析器）と言う装置で測定が可能です。

３、酸化膜の厚さやPad構造の状態によっても異なると考えられます。
Pad表面のシリコンのジュールの分布状態や実装温度、接合ボールサイズによっても影響は大きいと言えます。