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SEMI規格に関して

2004/06/07 13:31

半導体ウエハーですが、ノッチやオリフラに関してSEMI規格で規格化されている
ようなのですが、どこかのHPでこの規格が分かるとこがありましたら教えて頂けないでしょうか?
以上、よろしくお願い致します。

回答 (1件中 1~1件目)

2004/06/21 14:07
回答No.1

SEMI_M18-0704の要約によると
Values for many items are listed either in the polished silicon wafer standards in SEMI M1 or in the defect limits tables in SEMI M1, SEMI M2, or SEMI M11.
とあります。

会員登録すると以下のページでSEMI-Standardを検索・ダウンロードできます。
http://wps2a.semi.org/wps/portal

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