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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEMI規格に関して）
半導体ウエハーのSEMI規格についての情報を教えてください
2023/10/13 21:43
このQ&Aのポイント
- 半導体ウエハーのノッチやオリフラに関するSEMI規格について詳細な情報を教えてください。
- SEMI規格において規格化されている半導体ウエハーのノッチやオリフラについて、情報がわかるウェブサイトを教えてください。
- 半導体ウエハーに関するSEMI規格の詳細情報が載っているウェブサイトを教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
SEMI規格に関して
2004/06/07 13:31
半導体ウエハーですが、ノッチやオリフラに関してSEMI規格で規格化されている
ようなのですが、どこかのHPでこの規格が分かるとこがありましたら教えて頂けないでしょうか？
以上、よろしくお願い致します。
回答 （1件中 1～1件目)
2004/06/21 14:07
回答No.1
SEMI_M18-0704の要約によると
Values for many items are listed either in the polished silicon wafer standards in SEMI M1 or in the defect limits tables in SEMI M1, SEMI M2, or SEMI M11.
とあります。
会員登録すると以下のページでSEMI-Standardを検索・ダウンロードできます。
http://wps2a.semi.org/wps/portal
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