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No.２１８８９との関連が気になりますが、やはりレジスト塗布がマストでしょうか？マスキングフィルムはNGでしたか？
切り出しサンプルのサイズおよび銅箔のサイズが許すのであれば、丸に切り出してスピンコートするのが良いと思います。その際、吸着用のチャックは丸と同じサイズにする必要があります。スピナーのメーカに問い合わせれば対応してくれると思います。
レジスト種類を問わないのであれば、ドライフィルムレジストをラミネートするのはいかがでしょうか？100℃前後、圧力1MPa前後の負荷はかかりますが。
現物は見たことありませんが、ディップコータ、スリットコータというのもあるそうです。スリットコータはかなり高精度で塗布できると聞いたことがあります。
お礼
スピンコートなんですが、レジストを多く無駄にしてしまうので今回は、
スピンコートをしないことにしました。マスキングフィルムもあまり気が進みませんでした。ドライフィルムレジストというものをやってみようと思います。１００度、１MPa程度でしたら大丈夫です。いろいろありがとうございます。
2007/09/25 10:41
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