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SEMI規格に基づく部品図について

2007/04/24 14:26

半導体製造に関わる部品らしいのですが、図面にノッチ（切り欠き）があり、「ノッチ形状はＳＥＭＩ規格とする」とありました。
図面にはノッチの部分に仮想円が描いてあります。
ネットで検索したのですが、ＳＥＭＩ規格で形状に関する物は見つけられませんでした。また、詳しくは分かりませんが、顧客には聞けないようです。
教えていただけると幸いです。よろしく御願いします。

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回答 （1件中 1～1件目)

2007/04/24 17:13
回答No.1

私も詳細は知りませんが、まずはテュフに問い合わせてみてはどうでしょうか？

【参考】http://www.tuv.com/jp/semi_s2_s8_for_semiconductor_manufacturing_equipment_.html
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