バンプボンド、ボール形状について

Question

いつも参考にさせて頂いております。
さて、表記の件でボール台座部(キャピラリチャンファー部)が
キャピラリ交換時は奇麗(ツルツルの状態)ですが使用していく内
に荒くなってきます。
不具合前は≒２ウエハーに１度キャピラリを交換しておりましたが
現在は１ウエハー半分位で不具合前とは比べ物にならない位
台座表面が汚くなってしまいます。
当然、ボンディングしているのでゴミなどが付着してこの様な
結果になると思いますが≒６ヶ月生産していた中で始めての
現象です。
キャピラリ先端を比較すると確かに不具合前後ではゴミの付き方
が違います。
糸道、トーチ先端、クランパーなどの清掃・調整を行いましたが
一向に改善する様子が有りません。
残るはAu線と思い幾つか交換(同ロット)しました所
改善の様子が伺えましたが同ロット内で１リールしか
改善されませんでした。
Au線の製造工程は詳しくありませんがAuが汚れていて
この様な現象になるのでしょうか？
また、対策方法などはあるのでしょうか？

すみませんが何方か、ご教授お願いします。

Answer

こんにちは。
先ず質問にあります、「Ａｕ線が汚れていて」についてですが、
私の経験上、Ａｕ線製造工程における汚染での汚れ付着起因は
殆どありません。（あくまでの国内メーカー使用でのお話ですが）

但し、金線表面に塗布している「潤滑剤」が大別して２つありますので
その種類によって、汚れ付着度が変化します。汚れ度は以下の通りです。

植物油系＞界面活性剤系

但し、これが要因であれば「使用当初」から安定的に汚れると思われますので、これが要因ではない様に思えます。

大半は「その他外的要因」によるものです。

・環境面　　　　　→室内汚染（クリーンルームでない）
・作業面　　　　　→素手での作業（素手での作業）
・ボンディング面　→ボンディングする箇所の汚染
・装置　　　　　　→金線経路汚染
・製造条件面　　　→強い条件（荷重、ＵＳ、時間）
・キャピラリ　　　→表面状態

一番多いのが「素手による作業」です。
これは「キャピラリ交換」「金線交換」全てを指します。
作業環境はいかがでしょうか？
標準作業でも以外と「標準外」になっている場合があります。

また製造条件によっても汚れ付着に差は出ます。
当然「強い条件下」であれば物理的に付着物は多くなります。
途中で変更されていませんか？

異物がどの様なものであるかが、記載内容だけからでは判断できませんが、
何れにせよ先ずは、キャピラリの異物について分析を行い、「特定する」ことが得策と考えます。

また最短で問題可決するのであれば迷わず「金線メーカー」と「キャピラリーメーカー」双方へ相談してください。どちらも、こういった類の問題に
ついては、多くの知見を有していますので。

以上

Answer

Aｕ線の汚れによるキャピラリ詰り等よくあることです｡
使用中の金線を顕微鏡で見て異物や汚れがありませんか?
あれば考えられる原因は2つ。?金線メーカーで付着させている。?ライン内の環境で汚染している。　?は、メーカーに現品を送り問い合わせることです｡メーカーで製造工程の変更等行われてないか聞く事です。?は、パーティクルカウンタ等で異物の量を計ったり調査するしかありません。　?の場合暫定的には金線のリールの巻いてある長さをメーカーで短くしてもらい小まめに交換することです。

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