ヘリウムリークテスターの自動機を組み立て中

「真空引きしたチャンバー内にＨｅを吹きかけ」るとありますが、Ｈｅリークテスターは真空側の残ガスに含まれるＨｅを検知するものなので、Ｈｅガスはチャンバーの外から吹きかけるのですが・・・・
Ｈｅを使ったリークテストは手順を間違えると真のリークなのかが判別できません。リークの有無は配管の間違ではなく真空シール部や接続部の良・不良を判定するものであり、添付された配管図だけではよく分かりません。

Ｈｅガスは長く吹きかけていると真空シールの用いているエラストマーから透過してＨｅリークテスターの値を上げ、本当のリークなのか分からなくなるので要注意です。
前にテストしたＨｅが内部に残ってＨｅのバックグランドが低下しない場合は一端大気を入れて改めて排気することで残留Ｈｅガスを効率よく排出することができます。

お礼

2008/03/14 23:05

　ご回答ありがとうございます。
　チャンバー内を真空引きし（何もない状態にしてからという意図がたぶんあるのではないかと）、ヘリウムを流し込むって感じで。最終的に1Ｍｐａの圧のヘリウムがチャンバー内に入る感じです。今は0.2Ｍｐａでやってますが。この圧がテスト中、チャンバー内にかかります。なので、チャンバー内のワークの表面にもヘリウム圧がかかっています。別経路で真空引きされたワーク内部に進入したヘリウムをディテクタで計測しています。
　試験中の間ずっと、ヘリウム圧をかけているのが問題なのかもしれませんね。
　テスト後、ワークからディテクタまでは大気開放しているだけなのも残す原因なのかもしれませんね。ワーク内を真空引きするときに、真空ポンプで排気しちゃおうという感じなのがいけないのかも。
　あと怪しいのはワーク内部、クランプ内からマニホールドとをつなぐ真空ホース（材質はポリオレフィン系エラストマー樹脂）。ゴムなのですが、メーカーに聞いたらＨｅは透過するとのことで。シリンダで動くので、金属でできたフレキタイプは使えないのです。

質問者

リークは難しいですよねみんな簡単に言いますが
2度と作りたくない

ヘリュウムは作ったこと有りませんが
まあ、一番に怪しいのはシール部でしょう
手書きの圧力センサーの前に
バルブを仕込み（3個T型に仕組み1次側　大気開放　保持弁）
設備のモレ検査をしてみるといいです

このような回路にするのは
大気開放しておくのは設備から漏れた量を１次側から、
再供給するのを防ぐためです

放置して、圧力が下がって行けば　設備からもれてます

>>洩れは10～20Ｐａ/ｓec
漏れてますね
１０～２０Pa/日位じゃないと

Heなので、多少の漏れは仕方がないかもしれませんが

お礼

2008/03/14 23:35

　ご回答ありがとうございます。
　調整時間がかなりかかってるんで、みんなの目が冷たい気がして（笑）。
シールは、一応シールテープと真空グリスでやってるんですが。まぁ、私は適当な性格なもので怪しいかも。
洩れは10～20Ｐａ/ｓecくらいなんですが。0じゃないとやっぱだめですか？

質問者