本文へ移動
サポートシェアリングソリューション
OKWAVE Plus

このQ&Aは役に立ちましたか?

締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:石英ウェハをブランクにしてマスク描画機で描画可能…)

石英ウェハを使ってマスク描画可能な業者を知りたい

2023/10/18 01:22

このQ&Aのポイント
  • 半導体製造装置メーカで精度の高いXYステージを製作する際に、石英ウェハを使ってマスク描画できる業者を探している。
  • フォトマスクを使用する通常の方法ではウェハ1枚分の隙間しかないため、石英ウェハをマスクブランク代わりに使いたい。
  • 8インチエリア内での0.1μm以下の描画配置精度で描画可能な業者を求めている。
※ 以下は、質問の原文です

石英ウェハをブランクにしてマスク描画機で描画可能…

2010/10/04 20:10

石英ウェハをブランクにしてマスク描画機で描画可能な業者を知りませんか?

当方、半導体製造装置関連のメーカに勤めています。
今度精度の高いXYステージを製作することになったのですが、
ステージの精度を測定するのに、ステージの外からの測定ではなく、
テーブル上に格子状に配置したパターンをステージを
ステップさせて、固定カメラで読む方式を取りたいと考えています。
通常であれば、フォトマスクをテーブル上に置いて測定すれば良いのですが、
隙間がウェハ1枚分程度しかありません。
そこで石英ウェハをマスクブランク代わりにパターン描画できる
業者を探しています。

どなたか、そんな特殊な描画も請け負ってくれる業者を知りませんか?

ちなみに、8インチエリア内での描画配置精度を0.1μm以下で描画可能な
所を探しています。

よろしくお願いします。

回答 (1件中 1~1件目)

2010/10/04 21:22
回答No.1

微妙に提唱しそうですが

個人情報の掲載、営業・宣伝行為(業者の公募含む)、誰かの書いたものをそのまま転記する、誹謗・中傷、見た人が不快になる書き込みはご遠慮ください(すべて削除対象となります)。


>>業者の公募含む





http://www.nc-net.or.jp/accept/
こちらも利用してください

このQ&Aは役に立ちましたか?

この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。

質問する

お礼をおくりました

さらに、この回答をベストアンサーに選びますか?

ベストアンサーを選ぶと質問が締切られます。
なおベストアンサーを選びなおすことはできません。