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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：高真空環境下で用いる弁の構造）
高真空環境下で用いる弁の構造
2023/10/18 02:28
このQ&Aのポイント
- 高真空環境下での弁の構造の基礎を学ぼう
- 真空環境における弁の選び方と注意点について知る
- 真空環境対応機器メーカーのウェブサイトを利用して情報を収集しよう
※ 以下は、質問の原文です
高真空環境下で用いる弁の構造
2010/08/26 09:35
初歩的な質問で失礼します。
高真空環境下（絶対圧で0.001Paﾚﾍﾞﾙです。）
で弁を設置する装置を構想中です。
（弁で制御する通路は真空ではありません。
外部環境が高真空です。）
当然、一般のサニタリーﾊﾞﾙﾌﾞが使えるはずはないと思いますが、
真空環境対応機器メーカーのWEBを調べても
一般のﾊﾞﾙﾌﾞとの違いが、今ひとつわかりません。
わかりやすいWEBなどご存知な方がいらしたら
ご教授願います。
回答 （1件中 1～1件目)
2010/08/26 10:43
回答No.1
高真空用と一般のﾊﾞﾙﾌﾞとの差異ですが、特に高真空用に配慮されていると思
われることを下記します。
(1）筐体はSUSが一般的。
(2) シール剤への配慮：耐熱素材(フッ素系)を使用
多段シールの採用
(3) ベーキング(ガス抜き)できる構造：高真空陽の場合はベーキング処理済
(4) 分解・清掃が容易
など
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