ヘリウムリークテスト BG回復について

素人がトンチンカンなことを言っているかもしれませんので、不適切な回答
とお感じであれば遠慮なくご指摘下さい。

＞試験圧力は20Pa
＞チャンバBG値(バックグラウンド)は-8～-9乗台で、検査閾値は-6乗台
BG値-8～-9乗台の単位は、Paでしょうか？／Torrでしょうか？

細かい事はさておき本題ですが、
ワークから大漏れした際に、試験チャンバーの内壁にHeが吸着し、容易にク
リーンアップできない状況としたら、試験中にHe濃度をモニターして、試験
チャンバー内のHe濃度がある一定値以上上昇したら、所定時間を待たずに試
験を終了してもよいように試験手順を改めて、試験チャンバーの汚染を最小
限で済ませることができるようにすることも効率化の手段のように思います。

当方吹きつけ法のHeリークチェックはよくやってました。
やはり大リークでHe大量吸引した場合のBG上昇は経験しています。

やっていた対策としては
ポンプの排気は部屋の外までホースで延長と大量にばらまいたあとは部屋を換気の2点で部屋の中のHe分圧上昇を抑制していました。
気持ち効果が有るかなといった程度でしたが…

他だと素人考えですが
一番大きい影響はHe分子の壁面吸着だと思います。なのでヒートガンなので炙ると良くなったり無いかなと思うことも有りました。(テスト未実施)

ネタ的お話だと拡散ポンプや油回転ポンプだと油にHeがとけ込んで逆流汚染しそうに思えるのでター分子ポンプ＋ドライポンプにした方がいいような気がします。
(費用がめちゃくちゃかかるのにエビデンス無しとか馬鹿言うなといわれそうですが…)

所見の質問者さんなので、とりあえず簡単に

＞試験圧力は20Pa
＞チャンバBG値(バックグラウンド)は-8～-9乗台で、検査閾値は-6乗台です。

＞・チャンバの壁面に溶け込んだHe分子の影響？
　ありえます

＞・シールしているOリング等の樹脂部に溶け込んだHe分子の影響？
　ありえますが通常考えなくて良いレベルと思います。

＞・チャンバ・配管・バルブなどの物理的に入り組んだ空間にHe分子が残ってしまっている？
　ありえます

＞・真空ポンプ汚染によるヘリウムの逆拡散？
　通常ポンプ動作中には考えなくて良いレベルと思います。
　

　
すいません、添付図見忘れてました。
まずは粗引後にＬＤ側のバルブ閉じれば、速やかにＢＧが下がるかテストかな。

最近のＬＤだと筐体内にターボポンプなど一体型が一般的だと思うのですが
違うのかな？

また後付けの機械でできるかは判りませんが
紫外線照射による表面清浄化の実験
　https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj1958/31/10/31_10_850/_pdf

のようにチェンバ内に紫外線を照射することにより
クリーニング速度の向上を図れるという技術もありますよ。