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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SU-8(100)について）
SU-8(100)の使い方と条件について
2023/10/12 13:39
このQ&Aのポイント
- SU-8(100)は１００ミクロンの厚さのレジストを塗るための薬品です。
- スピンコートの回転数、Soft Bakeの時間と温度、アライナの露光条件、Post Exposure Bakeの時間と温度について詳細を知りたいです。
- アライナの最高出力は１３mWです。
※ 以下は、質問の原文です
SU-8(100)について
2000/05/16 12:47
SU-8(100)という薬品を使って１００ミクロンの厚さのレジストを
塗りたいのですが、スピンコートの回転数、Soft Bakeの時間と温度、
アライナの露光条件、Post Exposure Bakeの時間と温度などについて
ご存じの方おられませんでしょうか？アライナの最高出力は、１３mW
です。よろしくお願いします。
回答 （2件中 1～2件目)
2008/10/22 16:59
回答No.2
以下のURLに各種SU-8の各条件が載っています．
英語ですが・・・．
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2008/08/07 23:06
回答No.1
初速：500rpm 3秒
ｽﾛｰﾌﾟ：5秒
本速：2000rpm 30秒
Soft Bake 65度 10分 そのまま温度を上げる
95度 40分 そのまま常温まで放置
露光：20～25秒
露光後Bake:常温から温度を上げて行く 65度 5分そのまま温度を上げる
95度 になってから15分 そのまま常温まで放置
現像：SU-8ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ 10～15分
ﾘﾝｽ：ｲｿﾌﾟﾛﾋﾟﾙｱﾙｺｰﾙ 2～5分(浸した時に白く濁るようならばﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟ追加）
乾燥：ｴｱ･ﾌﾞﾛｳ
以上のやり方は目安とお考えください。あくまでも露光後の結果にて
条件を変えてください。
