SU-8(100)について

2000/05/16 12:47

SU-8(100)という薬品を使って１００ミクロンの厚さのレジストを
塗りたいのですが、スピンコートの回転数、Soft Bakeの時間と温度、
アライナの露光条件、Post Exposure Bakeの時間と温度などについて
ご存じの方おられませんでしょうか？アライナの最高出力は、１３mW
です。よろしくお願いします。

noname#230358

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回答（2件中 1～2件目)

noname#230359

2008/10/22 16:59

回答No.2

以下のURLに各種SU-8の各条件が載っています．
英語ですが・・・．

【参考】http://www.microchem.com/products/su_eight.htm

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noname#230359

2008/08/07 23:06

回答No.1

初速：500rpm 3秒
ｽﾛｰﾌﾟ：5秒
本速：2000rpm 30秒
Soft Bake 65度 10分　そのまま温度を上げる
　　　　　95度 40分　そのまま常温まで放置
露光：20～25秒
露光後Bake:常温から温度を上げて行く　65度 5分そのまま温度を上げる
　　　　　 95度になってから15分　そのまま常温まで放置
現像：SU-8ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ　10～15分
ﾘﾝｽ：ｲｿﾌﾟﾛﾋﾟﾙｱﾙｺｰﾙ 2～5分(浸した時に白く濁るようならばﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟ追加）
乾燥：ｴｱ･ﾌﾞﾛｳ
　　　以上のやり方は目安とお考えください。あくまでも露光後の結果にて
　　　条件を変えてください。