【三菱シーケンサ】CPUの通信異常での異常解除方法とは？

先に質問したものの要因となった内容です。
三菱のシーケンサQ2ACPU－S1なんですが、画像装置と接続して動いている設備です。異常となった内容なんですが、画像装置とCPUの通信異常でした。最初に確認した時では、CPUにエラーは発生しておらず、RUNしているようなので、まさかCPUに問題はないだろうという事で、画像装置・通信ケーブル・通信のシーケンサカード・I/Oボードと変えていって、最後にCPUを変えた所、異常は解除されました。当方保全暦も浅く、今回CPUを変えたなんて初めてだったのですが、エラーも発生していないCPUが不良（？）になるなんて事あるのでしょうか？
このCPUなんですが、運転STOPの状態でプログラムを転送し、照合もOkなんですが、DMは転送して照合かけてみても、どうしても照合の不一致がでるのです。設備からCPUのみ外し単体で上記内容を行っていますが、それでもダメです。転送の方法が特別なんでしょうか？それともやはりCPUが異常なのでしょうか？どなたか教えていただけたら幸いです。