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ダイシングブレードのドレッシングについて
2023/10/14 19:34
- ダイシング加工で溝入れを行い、ブレードのツルーイング及びドレッシングをWA系のドレスボードに溝入れしています。
- ドレスによって丸くなってしまう矩形の端面形状を任意に創製するためには放電ツルーイングが有効ですが、できればドレスボードへの溝入れだけで矩形の端面形状を得たいです。
- ドレスボードへの溝入れで矩形の端面形状を得るヒントがあれば教えてください。
ダイシングブレードのドレッシングについて
2006/11/27 02:58
自分は,ダイシング加工で溝入れを行っております.
ブレードのツルーイング及びドレッシングは,WA系のドレスボードに溝入れをして行っております.
自分が欲しいドレス後のブレード端面形状は矩形なのですが,ドレスによってどうしても丸くなってしまいます.
端面形状を任意に創製するには放電ツルーイングが有効らしいのですが,操作の手軽さから,できればドレスボードへの溝入れのみで矩形の端面形状を得たいです.
ドレスボードへの溝入れで矩形の端面形状が得られるヒントが有りましたら,お教え頂きたく,投稿させて頂きました.
以上,宜しくお願い申し上げます.
回答 (2件中 1~2件目)
私のユーザーさんの所でも、ブレードのドレス後の端面形状について
こだわりがある方がいらっしゃいました。
このときはメーカーにて形状修正をおこないましたが、メーカーの
見解としては、U型やV型の端面形状は新品時立ち上げのドレスを
減らす、もしくはノンドレスでスムーズに使用開始することを目的として
つけているとのことでした。
使用している間にドレス等でU型になるのが研削中のブレードとしては
良好な状態だそうです。
kinokoさんの所では何らかの理由で(応力方向によりチッピングの
状態が変わることがあると聞いたことがありますが・・・)矩形が
必要なのだとおもいますが、矩形の形状を維持した状態で加工できる量は
あまり多くないのではないでしょうか?
U型になった時の不具合をメーカーに伝えて、形状以外のスペック
を変えて対策されたほうが早道のような気がします。
機上でのブレードの正確なツルーイングは難しいと思います。
もし、私のユーザーさんであれば、ブレードを2セット以上準備して
いただいてメーカーで形状修正してもらうようにすると思います。
求められている答えにはなっていませんが、ご参考にしていただければ
幸いです。
一部補足させていただきます。
>新品時にドレスを行う目的は,ブレードの振れ取りのためだと認識していたのですが,これは間違いなのでしょうか?
間違いではありません。
ただし厳密に言えば振れ取り+ドレッシング(目立て)になります。
ブレード仕様によっては出荷時に外周部のドレスをしてないものがあり
この場合には取り付け後に充分なドレスが必要になります。
シリコンウエハーのダイシングだと勝手に思い込んでいたので、
的外れな回答があったかもしれません申し訳ありません。
的外れついでに、設備上の問題もあると思いますが、もし多数の溝入れ
であればマルチブレードはご存知でしょうか。
参考までに↓
http://www.asahidia.co.jp/pdct_i03_p10.shtml
任意の形状・ピッチで複数の溝入れが可能です。
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解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
以前私も似たような実験をしたことがあります。
そのときは、ドレスボードを切るのではなく、Z方向に落とすだけで、X方向には動かさず作成しました。(解かりますでしょうか?)
いわゆるチョッパーでドレス上にブレードを落としX方向にに動かさず、すぐ上昇させる。これを何度か繰り返し作成しました。
この際、最初は補正量等は入れないで試してみたほうがいいでしょう?
お礼
2006/11/27 12:09
回答して頂き,ありがとうございます.
チョッパー加工,大変勉強になりました.
今度,試してみたいと思います.
ただ,X方向の送りが有ると無いとでのブレードの挙動や研削抵抗の変化についてはまだ理解できておりませんので,少し考えてみたいと思います.
自分は,ブレード先端の丸みの付け根がドレスボード上面にくるような切込み(解りづらくてすいません)で,溝が出来なくなるまでドレスを行う事を考えておりました.(これで目立てまで出来るかどうかは分かりませんが)
大変貴重な情報,ありがとうございました.
参考にさせて頂きたいと思います.
お礼
2006/11/29 11:05
工具や 様
回答して頂き,ありがとうございます.
大変勉強になりました.
新品時にドレスを行う目的は,ブレードの振れ取りのためだと認識していたのですが,これは間違いなのでしょうか?
「工具や」様の回答を見ますと,「新品時に行うドレスは,ブレード端面を,安定したU字やV字状にするため」と,仰っているように感じます.
当方,ダイシングによって硬脆材に溝加工を行っております.
その中で,欲しい溝が矩形な為,端面形状が矩形のブレードで加工したいと考えております.
しかし,新品ブレードの初期ドレスを行った時点でブレード端面が丸まってしまい,端面が丸くならずにドレスが行えるコツを教えて頂ければと思い,投稿させて頂いた次第です.
>矩形の形状を維持した状態で加工できる量はあまり多くないのではないでしょうか?
確かに,「工具や」様の仰るとおりだと思います.
(ワークは異なりますが,某ダイシング加工機大手企業さんのHPを見ますと,非常に綺麗な矩形溝を加工してらっしゃいました)
大変貴重なご意見,ありがとうございました.
補足,ありがとうございます.
こちらこそ,十分な状況説明をしないまま質問してしまい,申し訳ありません.
余談ですが,JIMTOFにて,旭ダイヤの方にはブレードに関して色々と教えて頂き,大変勉強になりました.
ありがとうございました.