シリコンウェハ検査ステージの材質及び静電対策につ…

Question

シリコンウェハ検査ステージの材質及び静電対策について

現在シリコンウェハの検査装置の設計をしているのですが、
ウェハを設置するステージを作成するのに最適な材質について教えていただけないでしょうか？
装置の動作としては、ロボットアームを用いて検査ステージまでウェハを搬送し、画像処理をしながら位置だしを行い、設置。
検査実施後、再度ロボットアームで搬送します。

必要なのは金属製のステージと、ステージに取り付ける位置出し用のプラスティックです。
プラスティックは検査を行う関係上、半透明でなければなりません。

ウェハを扱う装置の設計は初めての為、静電対策を考えた材料選定がよく分からないのです。
・導電性の素材が必要なのか？
・必要ならばいくら位の抵抗値の素材が望ましいのか？
・静電防止のコートをしたプラスティックでよいのだろうか？
・静電対策がされていない素材でも、除電ブロアーで除電すれば問題ないのか？
この辺りは、使用されるお客様によって必要レベルが異なって来ると思われるのですが、標準的にどの程度まで考えていればいいのでしょうか？

分かりにくい文章で大変恐縮ですが、よろしくお願いいたします。

Answer

静電対策の樹脂、静電処理剤を塗布した樹脂、イオナイザー（スパッター
部を金属汚染させない、半導体仕様）の使用を検討下さい。

詳細は、ネットで検索して、その会社の営業マンに確認下さい。

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