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研削加工における砥石接触時の急激な温度上昇について
2023/10/21 01:27
- 研削加工について質問させてください.現在研削中のウエハの温度を測る装置を開発しています.
- 研削中に砥石接触時に温度の乱高下があり,そのうち収束します.この現象の原因が分からずに困っています.
- ロータリー型インフィード研削を方法としてとっています.
質問者が選んだベストアンサー
そもそも接触する前のワークウェハの温度はどうなっていますか?
ワークの温度が高いのならば接触直後に高温を検出するのは当然だと思います。
またウェハ形状だとすると研磨寄りの湿式研削ではありませんか?
更にいえばスラリーや冷却材を砥石版プレートの穴から供給して外周に吐き出すタイプでは?
面積の広い平板ワークを研削プレートと狭い間隔で並べている場合だと、ワーク接触直後は冷却材が薄い層の中で迷走しますので、ご質問のような現象は不思議ではないと思います。
さらに言えば最近の製品ですと、ワークの温度制御が組み込まれておりフィードバック制御でそのような特性が出ていることも考えられますね。こちらは製品の仕様をじっくり読まれることが解決につながるかと思います。
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その他の回答 (5件中 1~5件目)
本件の問題は
「砥石接触時に温度の乱高下があり,」
ですよね?
これってグラフの左端のパルス状に跳ね上がってるヤツの事だよね?
一般的に研削盤の砥石は瞬時に全面での接触は無く
「カリッ、、ガリッ、、ガリガリ、、ガガガガガ」
とかで砥石の一部が接触して火花も最初は一発、
順次2発、3発、その後連続した火花になるんだが?
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsat/63/1/63_31/_pdf/-char/ja
ロータリー型インフィード研削盤は違うんであろうか?
考察は目的、手段、予想、結果 を鑑みて行うものです。
結果だけ見せられて原因と言われても…って多くの人が感じてると思いますよ。
それだけだと何なので一応思いつくことを書いておきます。
手段に問題があると仮定した場合
・加工方法の問題
切込み量を一定にして砥石とワークの軸を近づける方向に動かしたので面圧が上がったとか
・温度測定方法の問題
ピークを取ったとか測定場所や範囲など
・温度測定機器の問題
振動で測定値がずれるとかノイズを拾ったとか