ｽﾊﾟｯﾀ装置の校正について教えて下さい

ＭＦＣの校正ですね。私もやっています。
まず、ＭＦＣの校正目的とＭＦＣの校正温度を何度にするかは決まっているでしょうか？。ＭＦＣ業界では、各メーカーにより標準温度が異なるので、それを確認することが必要でしょう。あとは、原器をどのような物にするかです、ＭＦＣは、サーマルマスフローですから、基本的には、マスフローメーターです。
まず、ＭＦＣの表示流量と実流量があっているかを確認すべきですね。
ずれているのであれば、出力電圧の調整をする必要があるでしょう。しかし、ｗａｎｋｏさんも書いていますように、内部の調整をいじってしまうと、メーカー保証が受けられなくなりますので、出力電圧を流量指示にしている方で調整すればよいのではないでしょうか？
もちろん、表示流量と原器の流量があっているのであれば、調整の必要はないでしょう。

ＭＦＣの場合は、使用していると何らかの影響で分流比が変わってしまう場合があり、その部分については、メーカでオーバーホールしなくてはいけないと思います。

一番重要なのは、調整をしたいのか、表示と実流量があっていることを確認したいのか。それではないでしょうか？

私が携わっている分野は、１０ＬＭＡＸ程度の分野ですので、一概にどれが正しいとは、言えませんが、ＭＦＣ業界的に国家標準が明確に確立されていまないと思います。結局は、体積、温度、大気圧の補正をして質量流量を求めていますよ。

大事なのは、顧客がどの程度の校正を要求して、いるかです。確認されてはいかがでしょうか？

説明になっていないかもしれませんが、メーカで校正することばかりを考えるのではなく、自分で校正しその証明をすることも必要だと思います。結構簡単ですよ。

MFCの校正ですが、メーカに頼むしかないと思われます。
(校正を行っているところを知りません)
ゼロ調程度であれば、ガスを封入した(流れが無い)状態で出力値を見て、調整する事が可能です(調整方法は、メンテナンスマニュアルなどに載っていると思います。)リニアリティなどを保証する場合、筐体をはずして内部のトリマなどを調整する事になると思います。このトリマをいじってしまった時点で、そのMFCは保証外になってしまいます。また、なにより校正原器が異なるため、実際どのくらいずれているのかを把握する事も困難です。(たとえ、御社が持っている原器で測定した流量がずれを発生していても、メーカ原器では、ずれが無いといわれる事が多々有ります。)
以上から考えまして、やはり校正を行うのであれば製作メーカに頼むのが一番だと思われます。