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Cuめっき膜の水素脆性改質法
2023/10/13 19:25
- Cuめっき膜の水素脆性の改質法について、高温アニーリングが難しい場合でも、150℃程度の低温アニーリングで効果が期待できるかどうかについて質問しています。
- また、効果が得られない場合は、長時間や真空中で加熱することで改質効果が上がる可能性があるのかも知りたいとしています。
- さらに、水素脆性のメカニズムや改質方法についても素人ながら知りたいという質問です。
Cuめっき膜 水素脆性 改質法
2004/08/11 15:52
全くの初歩的な質問で申し訳ありません。
電解めっきで成膜したCu膜の水素脆性を改質するのに
アニーリングを行おうと思うのですが、基板の都合上あまり高温にできないので、150℃程度で行おうと思っています。
効果は、期待できるでしょうか?
また、効果無い際に
長時間(一昼夜とか)にするとか
真空中で加熱するとかで、改質の効果を上げることは可能なのでしょうか?
またくの、素人の質問ついでに
水素脆性のメカニズム・改質方法の理論・手段を知るために助けとなるものがあればお教えください。
質問者が選んだベストアンサー
超音波による改質方法もありますので参考に提案させていただきます
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その他の回答 (2件中 1~2件目)
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お礼
2004/08/18 09:28
早速のアドバイス有難う御座いました。
水素脆性の発生のメカニズムが
大雑把にわかりました。
また、適正な熱処理条件は
一概には言えないとのことも判りました。
こんご、
効率よくも、数多くのトライ&エラーを繰り返し、
データの蓄積でバクボーンを形成して
その上で最適な熱処理条件(その他製造条件も含め)を見つけたいと思います。
また、疑問等が発生したら、ここで
泣きつきたいと思います。
ありがとうございました。
お礼
2006/12/11 09:10
回答ありがとうございました。
対策として検討してみます。
ありがとうございます。