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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：薄膜の硬度測定方法）
薄膜の硬度測定方法：500nm程度の金属薄膜の測定に適した手法と装置メーカー
2023/10/13 19:31
このQ&Aのポイント
- 500nm程度の金属薄膜の硬度測定方法について教えてください。
- マイクロビッカース法や引っ掻き強度測定では、500nmの薄膜の測定には十分な結果が得られない可能性があります。
- 適切な測定手法や装置メーカーが知りたいです。
※ 以下は、質問の原文です
薄膜の硬度測定方法
2004/08/04 19:27
厚さ500nm程度の金属薄膜の硬度測定方法もしくは測定装置メーカーを教えていただけませんか？
マイクロビッカース法は知っていますが、はたして500nmの薄膜の測定に適しているかも分りません。
引っ掻き強度測定もありますが、薄膜が乗っている面積が□100um程度と引っ掻くだけの十分な長さが無いように思います。
良い測定法ご存知の方、よろしくお願いします。
質問者が選んだベストアンサー
ベストアンサー
2004/08/10 09:04
回答No.1
ダイナミック微少硬度計というキーワードを入れてインターネットで調べてみてください
最近 工業試験所でも導入するところが増えています
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その他の回答 （2件中 1～2件目)
2004/08/10 09:16
回答No.2
参考になれば幸いです。
お礼
2004/08/11 15:01
回答ありがとうございました。
お礼
2004/08/11 15:03
回答ありがとうございました。マルテンス硬さと呼ばれているようですね。近くの工業技術センターが所有しているようですので、それを使ってみることにします。