ウエハダイシングテープについて

Question

シリコンウエハを貼り付けるUV硬化型ダイシングテープ（以下UVテープ）について質問します。

?．基本的なことですが、UV照射することでUVテープを硬化して粘着力を弱めるという原理ですか？硬化してしまったらエキスパンドに不利になると思うのですが。実際、エキスパンドを日を置いて繰り返し行ったらテープが破れた（割れた）経験があります。これはUVテープのデメリットと捉えるべきなのでしょうか？

?．UVテープにウエハを張付けた状態で、N2雰囲気のデシケータ保管はテープが乾燥するため望ましくないという話を聞きました（これが?のテープが破れた原因なのかどうかわかりませんが）。
が、ウエハに対してはN2デシケータが良いと思います。普通はどうするのでしょうか？

?．通常UVテープの有効期限とは何を指しているのでしょうか？UV照射の効果が得られる期限？粘着力そのものの期限？耐エキスパンド性の期限？

以上、テープメーカに聞けばわかることかもしれませんが、テープメーカとコンタクトとったことがないのでこの場を借りて質問させて頂きました。宜しくお願い致します。

Accepted Answer

はじめまして。下記にご返答します。
?に関して
これはテープではなく、接着層に対してのものです。
従って、エキスパンド性には関わりありません。
?に関して
Ｎ２のデシケータに入れることによるテープへの弊害はありません。ウエハ保管を考えてもＮ２デシケータが適切です。
?ＵＶテープの有効期限は主に接着性に対する有効性
を指します。

ＵＶテープに関わらず、ダイシングテープには、エキスパンドタイプとノンエキスパンドタイプがあります。内容を察するに、貴殿の工程はエキスパンド性を要している様ですから、エキスパンドタイプを選択すする必要性があります。エキスパンド性はテープの基材で決定されます。一般的には
【エキスパンドタイプ】
・ＰＶＣ（塩化ビニール）
・ＰＯ（ポリオレフィン）
【ノンエキスパンドタイプ】
・ＰＥ（ポリエチレン）
エキスパンド量が多い場合は、ＰＯよりもＰＶＣをお勧めします。但し、ＰＶＣは環境負荷物質ですからＩＳＯ１４０００等を取得している場合や客先等と環境負荷に関して締結している場合においては取り扱いに注意が必要です。現在使用の材質が何であるのか不明ですが、もしエキスパンドタイプであれば、ダイシングでのカッティング条件（フルカット時のテープへの切り込み量）ダイボンディング時のエキスパンド量の条件見直しが必要でしょう。

Answer

エキスパンド品とのことですから、破れに対して照射条件や保管条件は関わり無いと考えます。
この場合、過剰なエキスパンドに問題があるものと思われます。
一旦エキスパンドを行なった物に対して１０回以上も繰り返しエキスパンドを行なうのは好ましくありません。エキスパンドを行なう事により、その都度テープには過大な引っ張り力が加わりますから、繰り返し作業時におけるテープへの傷発生やダイシング時の切り込みバラツキによる深さ大の箇所へ負荷が集中し、そこを起点に破れるものと推測します。
私の経験上、３回程度までが許容値であるものと考えます。ちなみにＵＶ後長期保管で破れではなく、テープからのＩＣ脱落は発生していませんか？
可能であれば、ウエハーはエキスパンド１回分毎に
マニュアルダイシングにて分割切断して、使用分だけ
テープへ再マウントしてダイシングを行なって使用するのが得策でしょう。作業効率上問題があるのであれば、ウエハーを２分割して現状の１／２のエキスパンド回数にする等の工夫も考えられます。
再度述べますが、ＵＶ後半年間で１０回のエキスパンドは好ましくありません。

Answer

以下のURLが参考になるかと思います。
事業部は違いましたが、元社員です。

UVテープの硬化とエキスパンドの関係、N2デシケータ保管の問題、そして有効期限についての質問