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ガラス基板上のコーティング膜厚分布を測る方法とは？
2023/10/15 03:35
- ガラス基板上のコーティング膜厚分布を測る方法を教えてください。一般的なマイクロメータでは大きな基板の測定が難しいため、他の方法を探しています。
- ガラス基板の片面にコーティングされた透明なエポキシ樹脂の膜厚分布を測定する方法について教えてください。
- ハンディタイプの測定器でコーティング膜の膜厚を測ることができる方法について詳細を教えてください。
ガラス基板上のコーティング膜厚分布を測る方法を教…
2006/02/24 17:45
ガラス基板上のコーティング膜厚分布を測る方法を教えて下さい。
ガラス基板(サイズ450×350×ｔ5mm)の片面のみに、透明のエポキシ樹脂でコーティングをしています。膜厚は大体100～300μ程度です。
基板サイズが大きい為、一般的なマイクロメータ(挟み込んで測るタイプ)では、ガラスの傾き等の影響があり上手く測定出来ません。
このエポキシ樹脂の基板全体の膜厚分布を測定したいのですが、良い方法があるでしょうか？教えて下さい。
また、以前どこかで、測定器本体がハンディタイプで
膜にセンサー部分を押し付けると、膜厚が判る測定器を見た事があるのですが・・・。
その測定器で測定出来ないかと考えてはいるのですが、詳細が判りません。
この測定器に関して知っている方が居ましたら、
詳細(メーカー・仕様等)も教えて下さい。
質問者が選んだベストアンサー
ガラス基板の膜厚を測定するなら、光学式測定はどうでしょうか。
光学測定の良いところは、ガラス基板や膜を傷つけずにすみます。測定機器メーカーでは、サンプルを貸してもらえば、テスト測定して測定可能かどうか評価してくれます。測定可能と分かった時点で購入してはどうでしょうか。メーカーについては、分光器メーカーであれば膜厚測定器を製作していると思います。ご自身で調べらえてもすぐに見つかると思います。
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その他の回答 （2件中 1～2件目)
昔それ使用してました。
多分電磁式膜厚計だと思います。
今のはだいぶコンパクトになりました。
お礼
2006/03/16 17:44
回答有難うございます。
早速HPを調べてみます。
お礼
2006/03/16 18:05
回答有難うございます。
ネットで｢光学式｣というキーワードで検索したところ、
いろいろなメーカーがヒットしました。
それぞれのメーカーに問い合わせてみます。