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量子型赤外線センサの選定について
2023/10/15 23:46
- 半導体デバイスの熱破壊の様子を測定するために、高速な温度変化に追従できる量子型赤外線センサの選定について教えてください。
- 温度変化に追従できるような高速な検出器が必要な背景から、熱型ではなく量子型赤外線センサを選びたいと考えています。
- 光学系や伝達系は無視して検出器の選定を行っているが、具体的な選定プロセスや比検出能に関する理解が不足しており、ご教授いただけないでしょうか。
量子型赤外線センサの選定について
2008/10/27 18:06
よろしくお願いします．
・背景
半導体デバイスの熱破壊の様子，箇所ごとの温度分布を知りたい．そのため単に温度を測るのではなく温度変化に追従できるような高速な検出器が必要
→熱型でなく量子型検出器から探したい.
・測定対象
予想される素子の温度は高温部分で250℃前後.
対象には黒体スプレーをかけておく．
(ウィーンの変位側よりピーク波長は5～6μm)
・疑問点
今は光学系・伝達系は無視して検出器の選定を行っています．教科書やインターネット上では比検出能が選定の目安になるとよく書いてありますが，理解できなく行き詰っています．検出器の具体的な選定はどのようなプロセスを経て行っているのでしょうか．どなたかご教授お願いします．
※光学や赤外線の勉強は最近始めたばかりで，文中に勘違いやおかしな表現が
あるかもしれませんが，その点考慮していただくと幸いです．
回答 （1件中 1～1件目)
量子型赤外線センサって何？
http://www.line.co.jp/senserbook/infrared/infraredlight.htm
http://www.jp.horiba.com/analy/it/subete5.htm
要するにサーモパイルや放射温度計は違う訳ね
でもフォトトランジスタやCdsで温度を計測する例は見当たらない
常識的に温度分布を計測するのはサーモグラフィ
http://www.nec-avio.co.jp/jp/products/ir-thermo/lineup/index.html
Super Fine Thermo TVS-8500
温度分解能 0.025℃
超高速フレームタイム 1/120秒
これくらいの分解能と速度があれば良いだろうか？
でも、ベンツかBMWに相当する価格帯？？？？
もしかしたら赤外線カメラ？
http://www.nec-avio.co.jp/jp/products/ir-module/lineup/camera.html
http://www.mitsubishielectric.co.jp/service/ir_camera/
補足
2008/10/29 13:00
センサについて勘違いしている部分がありました．
もう少し自主学習をしてみたいと思います．
お騒がせしてすみませんでした.
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お礼
2008/10/28 13:46
回答ありがとうございます.
「量子型センサ」とはあまりに大雑把でした．すみません．
InGaAsフォトダイオードやInSbセンサといった検出器を
使用して，その出力から温度を算出できないかと考えています．
(例えば，↓のHPにあるようなセンサです．
http://jp.hamamatsu.com/products/sensor-ssd/pd128/index_ja.html)
添付していただいたサーモグラフィがあれば，問題は解決しますが
この価格はきついですね．またサーモグラフィのように測定対象の
全体の温度をリアルタイムに測定できればいいのですが，まずは測
定対象の一部分でもいいので，温度が測定できることを目標にして
います．