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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：XYステージのメンテナンス）
XYステージのメンテナンス
2023/10/16 00:22
このQ&Aのポイント
- ワイヤーボンダー用XYステージのメンテナンスを考えています。レニショー解析など使った測定をするにはどうすればよいか教えてください。
- XYステージのメンテナンス方法と必要な機器について詳しく教えてください。
- XYステージのメンテナンスには、ワイヤーボンダーの使用やレニショー解析などの測定が必要ですが、具体的な方法について詳しく教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
XYステージのメンテナンス
2008/10/23 11:54
ワイヤーボンダー用XYステージのメンテナンスを考えています。
レニショー解析など使った測定をするにはどうすればよいか教えてください。
（方法＆必要な機器など）
回答 （1件中 1～1件目)
2008/10/24 10:42
回答No.1
いまいち質問者の意図するところが理解できないのですが
レニショーのサイトにある資料では不足ですか？？
http://www.renishaw.jp/media/pdf/jp/9b63f65ecee64ca4bd0e761b522053ac.pdf
http://www.renishaw.jp/media/pdf/jp/e1655554b723494799ab6045e9eda638.pdf
以前は、「解説書」的なものがあったのですが今はＨＰ上に載っけて
ないのかもしれません。
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