搬送フィルムの膜厚測定

Question

以下の条件で、搬送中フィルムの厚み測定可能なものを探しております。

・測定対象・・・透明体
・非接触測定
・フィルム端部の厚みを見たい
・フィルム厚み４０～１００μｍ
・要求精度±１μｍ
・計測範囲・・・±５ｍｍ以上
・センサをフィルムから最低でも２０ｍｍ以上離したい

■（反射型レーザー変位計）
＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿↓　
　↑　　　　　　　　　　　　○　←ロール
フィルム　　　　　　　　　　 ｜
　　　　　　　　　　　　　　 ｜←フィルム
　　　　　　　　　　　　　　 ｜

上図のようにロール上で膜厚を測定しようとすると、

・ロールの偏芯、センサ移動機構のガタツキ等が外乱になる
　(特にレーザー変位計が)

という理由で、測定は出来るが満足な測定データが得られません。

■（反射型レーザー変位計）
　　　　　　　　　　↓
＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
　↑　　　　　　　　↑　　　○　←ロール
フィルム　　　　　　■　　　 ｜
　　（反射型レーザー変位計） ｜←フィルム
　　　　　　　　　　　　　　 ｜

次に機械的精度の限界を上図のようなイメージでカバーしようとしました。
フィルムの上下にレーザー変位計設置し、
フィルム上下の変位の合算で膜厚を測定するシステム。

こうすると、

・測定しようとしているフィルムは、
　端部より１０ｍｍ内側からカール状に反ったりする為、
　角度及び変位が変化する。角度的には６０°ぐらい反っている印象。

・バタついたりし、張力によってもフィルムの位置(変位)が数μｍ、
　常に変化したりする。

こういった理由で、特に測定対象が透明体のため、測定対象から反射する
受光波形が満足に取れず、まるきり測定できません。

ポイントは一番見たい箇所がフィルムの端部であるのですが、
そこが反ったり、バタついたりしているので中空を走っているフィルムの
厚みを測定するのが困難であり、
ロール等で位置を矯正したものの上を測定すると、
機械ガタの影響をもろに受けてしまう点です。

こういった状況下で安定してフィルムの厚みを測定できるものを探して
おりますが・・・
何か良いものはないでしょうか？

Answer

素人考えですが。
両面に2つずつ反射型変位計を設置して、同一面2点の測定値からフィルムの傾きを割り出し、両面の測定値の差分にフィルム傾きのサインを掛けてあげれば膜厚が出そうです。なんだか手間がかかる割りにどこかに誤差を載せて（傾きが測定点間で一定と仮定しているため）いるようで、回答になっているかどうか自信がありません。もし、ご参考になれば幸甚です。

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