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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEM内で用いるアクチュエーターを探しています。）
SEM内で使えるアクチュエーターの探し方
2023/10/18 04:30
このQ&Aのポイント
- SEM内で高硬度な金属を切削するためのアクチュエーターを探しています。
- 現在ピエゾアクチュエータが候補としてありますが、ヒステリシスやストロークの問題があります。
- 他に適したアクチュエーターの方法があるか教えていただけませんか。
※ 以下は、質問の原文です
SEM内で用いるアクチュエーターを探しています。
2010/06/19 16:51
実験で、SEM内切削装置を作ろうと考えています。
SEM内で、鋼等の高硬度な金属を切込み数μm,切削速度数μm/sで切削するための動力源となるアクチュエーター探しており、現在、ピエゾアクチュエータが候補としてあるのですが、ヒステリシスによって切削速度が一定にできないといったことやストロークが短いといった問題があるため、他になにか良い方法がないかと考えているのですが、どなたか良い方法をご存知でしたら教えていただきたいです。
よろしくお願いいたします。
回答 （1件中 1～1件目)
2010/06/19 22:43
回答No.1
電歪がダメなら磁歪。こちらのほうが変位はずっと大きく取れるはず。
超磁歪素子とかいうの。
あとは VCM が何かの超精密機械に使われていたと記憶。
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お礼
2010/06/21 22:56
超磁歪素子、VCMと初めて知りました。検討してみます。
ありがとうございました。