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締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:SEMの表面観察)

SEMの表面観察について

2023/10/13 21:18

このQ&Aのポイント
  • SEM分析において、試料の凹凸により白黒で見えることがありますが、平面研磨をしても同様です。試料の元素の違いにより、白っぽく見えたり黒っぽく見えたりする可能性があります。
  • SEM分析では、試料の表面の凹凸により画像が白黒で表示されることがあります。同様に、平面研磨した試料でも白黒で見えます。試料の元素の違いによって、白っぽく見えたり黒っぽく見えたりすることがあります。
  • SEM分析では、試料の凹凸によって画像が白黒で表示されることがあります。試料を平面研磨しても同様の結果が得られます。試料の元素の違いによって、白っぽく見える場合もありますし、黒っぽく見える場合もあります。
※ 以下は、質問の原文です

SEMの表面観察

2004/06/28 13:42

先ほどX線分析に関する質問をしたのですが、追加の質問になります。
SEM分析ですが、これも画像が白黒でしかでてきません。
これは試料の凹凸により白っぽく見えたり白っぽく見えたりしますが、
試料を平面研磨し、平面の部分を観察した場合も平面にも関わらず白黒で見えます。
これも試料の元素の違いにより、白っぽくみえたり黒っぽく見えたりするのでしょうか?

回答 (6件中 1~5件目)

2004/06/30 20:16
回答No.6

 軽元素、重元素の明確な定義はないでしょうが、その名のとおり軽い元素、重い元素のこと、つまり原子量が大きいか小さいかでしょう。結局は原子番号の順番とほぼ同じことになります。
 ただ、特性X線の強度が原子番号の順番になるとは厳密には言えませんが。
 鉄鋼を分析するとかでしたら、鉄とかマンガンは重元素、炭素とか窒素とかは軽元素といえるでしょう。

お礼

2004/07/02 14:30

回答ありがとうございました。
やはり明確な定義はないのですね。

質問者

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質問する
2004/06/29 22:06
回答No.5

#2です。

>これは2次電子のはね返りが多いほど白く写り
お察しの通り二次電子の強度の強いものほど白く見えます。

>原子番号が大きいほど2次電子の跳ね返り
が多いという予想でよろしいでしょうか?

二次電子の強度は原子番号だけに依存している訳ではないため(他の要因、たとえば化合物の伝導率等にも依存するため)必ずしも白く見えるところが原子番号が大きいということにはなりません。

2004/06/29 20:28
回答No.4

 元素の特性X線は重元素ほどエネルギーが高く、軽元素ほどエネルギーが低いという特徴があります。このため、同じパーセント量なら重元素の方が白く見えるということはあります。というか、軽元素は分析しにくい。
 でも、1つの像では1つの元素しか見ていないので、「平面にも関わらず白黒で見えます」というのは、1つの元素濃度の位置による変化を見ているだけで、元素の違いを見ているわけではありません。(特性X線像の話だとして)

お礼

2004/06/30 10:44

回答ありがとうございました。
またまた素人な質問で恐縮ですが、軽元素・重元素とは何を意味するのでしょうか。
いろいろ調べたのですが、それに対する概念がまちまちでした・・。
わかりましたら教えて頂けないでしょうか?

質問者
2004/06/29 00:23
回答No.3

 ちょっと誤解があるのかもしれませんね。
 X線分析(XMA)は、試料にX線を照射して分析するのではなくて、試料に電子線を照射して返って来るX線を分析する方法です。EPMAとも言います。
 SEM(走査型電子顕微鏡)で試料の形状を見るときは、電子線を照射して返って来る電子(二次電子)を捕らえて画像にする分けですが、SEMで分析するときは、返って来る電子ではなく、返って来るX線を分析します。
 だったら、X線分析(XMA)もSEM分析も同じじゃないか、乱暴に言うとそういうことです。実際、どちらも特性X線という元素に特有の波長のX線を捕らえて分析しています。X線の検出方法として、WDXという方法を使うのをXMA、EDXという方法を使うのをSEM分析と呼ぶ人が多いようです。
 白いか黒いかは、たくさんX線が返って来たら白、少なかったら黒です。例えば、鉄の特性X線に合わせて写真を撮ったとき、白い部分はそこに鉄がたくさん含まれていることになります。黒い部分はFeが少ない、ということは逆に他の元素が多いということになります。
 いや、そうじゃない、やっぱり電子で白っぽくみえたり黒っぽく見えたりする(コントラストが生じる)という趣旨の質問でしたら失礼しました。既に、#2の方の答えで解決されたと思います。

お礼

2004/06/29 09:41

ご回答頂きありがとうございました。
「たくさんX線が返って来たら白、少なかったら黒です」とありますが、
例えば原子番号が高いほうが白く写りやすいなどという傾向はあるのでしょうか?

質問者
2004/06/28 22:54
回答No.2

一般的なSEM像はおそらく二次電子線像(SEI)を指すことになるとおもいますが、これは構成元素によりコントラストが変化します。ただその傾向は原子番号に必ずしも依存しないようです。(経験上原子番号が大きいほど白く見えるという傾向は多少あると思います。試料がチャージアップして白く見えるのは別問題として。)
またお使いの機器によっては反射電子線像(BEI)が見れるかもしれませんが、こちらの組成(COMP)モードにして見ると必ず原子番号の大きいものほど白く見えます。

お礼

2004/06/29 09:33

ご回答頂きありがとうございました。
これは2次電子のはね返りが多いほど白く写り、原子番号が大きいほど2次電子の跳ね返り
が多いという予想でよろしいでしょうか?

質問者

お礼をおくりました

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