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ターゲットのバッキングプレートについて
2023/10/18 06:36
- ターゲットのバッキングプレートについて教えてください。
- バッキングプレートの材質はステンレスまたは銅板で、銅板の歪に困っています。
- 1600*137*t10の銅板バッキングプレートの歪の公差範囲でボンディングが可能か知りたいです。
ターゲットのバッキングプレートについて
2010/04/23 13:15
素人で申し訳有りませんが、教えてください。
ターゲットの台で有るバッキングプレートの材質は、通常ステンレスまたは
銅板なのですが、今困っているのは、銅板の歪です。
現在、1600*137*t10の銅板バッキングプレートを作成の一般的な歪というか
公差はどこまでの範囲で有れば、ボンディングが可能でしょうか。
お願い致します。
質問者が選んだベストアンサー
私も同様のバッキングプレートを加工した事があります、私の加工したのは、銅でt15*100*1300位で巾50mm位深さ10mmで水路の溝を掘りその後フタをEB溶接し機械加工する工程でしたが大変苦労をしました。
最初は一ヶ月近く製品になりませんでしたよ。
質問の大きさから想像するに平面度0.1、平行度は0.05以下でしょうね、
ターゲットの素材は大変高価な物で板厚が不揃いだとターゲットの厚みにムラが出来コストが掛かる、ターゲットにムラが出来ると電子の飛び方が均一に飛ばない等機能に支障が有るそうです。
問いのBPが溶接構造の場合削れば必ず溶接方向に曲がってくるでしょう、加工前に反対にあらかじめ曲げた物を治具に締め付けて加工し最後に曲がり直しをし公差に入れる等の工夫が必要です。
頑張って下さい。
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その他の回答 (2件中 1~2件目)
大変恐縮ですが、お問い合わせの
>ターゲットの台で有るバッキングプレート
とは、どのような分野のどのような設備に使われるものでしょうか?
限られた経験では、適切に推定することができないように感じます。
併せて、代表的な製品例などご教示頂けると、回答がつきやすいように
思います。
補足
2010/04/25 23:03
ohkawa様
失礼しました。近年、薄膜ということをお耳にすることが有ると思います。
仮に太陽電池を製作にあたって、ガラス基板にある基材を加熱し、基板に着ける物です。その名称をターゲットまたはカソードと呼びます。
真空関係の書物をご覧いただければ、わたくしより分かりやすく説明されて
おります。分かりにくい説明ですみません。
お礼
2010/04/25 22:54
本マグロさん
誠にありがとうございました。
大変勉強になります。弊社真空関係の仕事をしており、表題に有りますように
以前にも製作を依頼したケースがございます。その時も歪みと公差で苦労しました。今後このような製作を本まぐろ様でお願いすることは可能でしょうか。
また、ご紹介頂ければ幸甚でございます。