参考図からの作図で、カッター径寸法の決定方法を教…

Question

参考図からの作図で、カッター径寸法の決定方法を教えて下さい。

皆様の暖かい支援によりまして、また投稿できる状態に戻りました。
よろしくお願いします。

質問の具体的な内容は、石英製のバスケット図面を作成しています。
参考図は、φ200mm用ウエハのものがあります。
φ300mm用ウエハタイプの石英製バスケット図面は、計画図があります。
その石英製バスケットにφ300mm用ウエハを縦に並べる溝があり、その加工寸法をどのように決め
たら良いかが解かりません。
φ200mm用参考図は、数mm大きいカッター径で表示しています。
φ300mm用は、何mmのカッター径で表示したらよいか判断が付きません。
バスケット形状は、3/2倍ではないのですが、カッター径は3/2倍が妥当ではないかと思いますが、
根拠がありません。

ウエハは、シリコンだそうです。
バスケットは、高温で使用するために石英製としているそうです。

また、謎々のようになりましたが、見識のある方のアドバイスをお待ちしています。

Accepted Answer

又々、回答(１)のiwanaiの設計新人イジメが始まった。
特に他部署の新人の芽を摘むや、組織内で天に唾吐き管理職不適合の烙印を押される、
鼻つまみ者の記述と、質問者さんは思って無視してください。

また、多分半導体業界の内容と推測しますが、“ウエハは、シリコン”で通用します。
どの業界も、情報開示はあまりしませんが、特に新分野的な半導体業界では顕著で、その
ような表現となっていても仕方ないと元関係者の小生は思います。

そして、この円高で、ウェハーメーカーやデバイスメーカー、アッセンブリーメーカー、
半導体製造設備メーカーは壊滅的打撃を受けているのも事実です。
2000年の半導体バブルが弾けた時期より、現在の方がより深刻です。
半導体製造設備メーカーの上場や非上場も、数多く倒産したり、業界から撤退したりを
しました。(シャープさんが、ニュースの状態なので判るでしょうが、)
半導体製造設備メーカーで倒産した処で、会社更生法手続きがなされなかった会社は、韓国や
台湾、中国が直接や間接的に出資をして、別会社で復活しています。
その会社がキーとなって、中古製造設備をModifyして海外に安価に輸出し始めています。
多分、その関連の仕事ではないのかな？
あまり情報が出ていない、情報内容をしらない企業に仕事が出ているので、一度倒産している
ニオイがします。

さて、本題の質問内容ですが、
> バスケット形状は、3/2倍ではないのですが、カッター径は3/2倍が妥当ではないかと思います
は、妥当と考えます。
推測ですが、“高温で使用する”は、熱拡散炉(1200℃で12時間程度処理)であり、
1200℃の高温時でも、石英バスケットがウェハーを潰して割らない配慮だと思います。
詳細内容は、
? 石英の線膨張係数×1200℃×ウェハー径(参考図のφ200mm)＋ウェハー径(参考図のφ200mm)
? ウエハ材質のシリコンの線膨張係数×1200℃×ウェハー径(参考図のφ200mm)＋
　 ウェハー径(参考図のφ200mm)
の計算にて、通常時(20℃時)でも熱拡散炉処理時にでも、?計算結果 ＞ ?計算結果　と
なり、且つ通常時(20℃時)でも大き過ぎてガタつき難く寸法(カッター径)で、製作です。
ですから、3/2は結果的に正解です。

最後に、また質問と関係ない記述ですが、周りの雑音は無視し、今は設計や製図に専念して、
独り立ちできるようにしてください。
将来、分野が異なっても設計の基礎は殆ど変わりません。
応用時に変わるだけです。
以上が、判るまで我武者羅に頑張って、設計や製図に励んでください。

Answer

回答(１)のiwanaiは、SEMIやM重工アレルギーがあるみたいなので、記述は無視が最良です。

さて、石英の線膨張係数は温度毎に微妙に異なりますが、平均値の5.5×10^-7/Kにて、
シリコンウェハーは 3.9×10^-6/Kにて、計算しますと、
常温でのシリコンウェハーの径公差は、φ300mm±0.2mmなので、
φ300.2mm×3.9×10^-6/K×1200℃＋φ300.2mm ＝ 1.405mm＋φ300.2mm ＝ φ301.605mmまで
大きくなります。
石英は、φ300mm×5.5×10^-7/K×1200℃ ＝ 0.198mmしか大きくなりません。
ですから、φ302～φ305mmのカッター(φ304mm用)を使用するか、φ200mmの3/2にするかで
決定してください。

Answer

＞謎々のようになりましたが

・・・さらに笑うしかないです・・・

＞φ300mm用ウエハタイプの石英製バスケット図面
＞ウエハは、シリコンだそうです

φ200ならSiC用とするなら判るが（笑）
ＳＥＭＩは国内全滅でシュリンク・リストラの嵐吹き荒び、設備も余るはずか、誰が買うのだろうか？

そういえば

＞半導体では、古い機種の６インチ・シングルカセットタイプの循環洗浄BATHが大きさ的に合致するでしょう。
　　http://mori.nc-net.or.jp/EokpControl?&tid=274907&event=QE0004

こんなの思い出した・・・ガチャ欲しさだけの場違い回答が刎ねられたから、質問し直してあげたら喜ばれそう・・・（笑）

いや面白いですね、、、仕事ヌキなら、、、

＞M重工
ってのは、つまらぬ回答内容だからハク付けたいがため自分でバラしたのよ。。。（笑）

＞管理職

へーきで企業名を出すような輩を登用するＭ菱重工って一体？？。どうせ電機から頼まれてサイド的にＳＥＭＩをやったのだろうから、Ｓ４５Ｃの基礎知識ですら零点取る
　　http://mori.nc-net.or.jp/EokpControl?&tid=265626&event=QE0004
ような実力でもナントカなったのだろうう。しかし専業のＤＮＳなんかに勝てるはずもなし・・・

他にも物理、化学は不得意と仰ってるし、アテにならんよ（笑）

参考図からの作図で、カッター径寸法の決定方法を教えて下さい。