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締切済み
成膜装置で，混ぜちゃいけない元素
2024/03/24 14:32
スパッタなんかの成膜装置ってあまり一つの釜で色んな種類の成分を使わないっていっていました．Snとかがあると他のものと併用はせずに専用で使うと聞きかじったのですが，Snって何がそんなに厄介なのですか？その時は聞きそびれたので．．．．
回答 （1件中 1～1件目)
スズは蒸発性が低いため、効率が悪く、成膜速度が低くなりますね。
あとスパッタ成膜では、バックスプラッシュと呼ばれる現象が発生します。スズの場合、バックスプラッシュが他の成分と混ざって膜の品質を悪化させることがありますね。多分。
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お礼
2024/03/24 19:56
そうなんですね．具体的には，ITOは他の成膜と混ぜない，という話題の中でSnは厄介ですよねー．みたいな文脈で出た言葉だったと思います．