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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SiONの熱膨張係数について教えてください）
SiONの熱膨張係数について
2023/10/12 14:33
このQ&Aのポイント
- SiON（酸窒化珪素）の熱膨張係数について教えてください。
- SiONの熱膨張係数を知っている方、教えてください。
- SiON（酸窒化珪素）の熱膨張係数に関する情報をお持ちの方、教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
SiONの熱膨張係数について教えてください
2001/11/01 15:16
ＳｉＯＮ（酸窒化珪素）の熱膨張係数が分かる方がいらっしゃれば、
教えて頂けないでしょうか？
回答 （1件中 1～1件目)
2001/11/12 01:04
回答No.1
たぶん４．５５．５×１０の－６乗ぐらいじゃないでしょうか。
（参考値→炭化珪素）
ご参考まで。
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