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2002/10/01 08:51
シリコーン樹脂を熱硬化した時に発生する揮発成分(シロキサン)がAu、Agなどの金属に付着して困っています。 1度付着した揮発成分の効果的な洗浄方法があれば教えてください。 部品の構造上、液体での洗浄は出来ません。 アドバイス等ございましたらどんなことでも構いませんのでご教授ください。 よろしくお願いします。
揮発成分がシロキサンではないシリコーン樹脂の検討ではだめですか?
シリコーン樹脂のメーカーに問い合わせてみるといいと思いますが。
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プラズマ洗浄
紫外線/オゾン(UV/O3)洗浄
などはいかがでしょうか。
出入りの商社の方に聞いてみたら,情報があるかもしれません。メーカーではデモを受け付けてくれるはずです。
半導体業界では流行りものです。
http://www.mew.co.jp/press/0107/0107-13.htm
http://www.techno-s.co.jp/publish/senzyou.htm
揮発性の成分でしたら、温風等で気化させられませんか?
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