AlN基板ホルダーの洗浄方法と業者探し

窒化アルミニウムなら、一般の酸に対しては安定だと思います。
硝酸とは書きましたが、亜硝酸ガスが発生するので余りお勧めできません。硫酸＋過酸化水素＋水は多少ミストが発生しますが、剥離速度が魅力です。
アンモニア水＋過酸化水素＋水も剥離速度で魅力的ですが、アンモニア臭と排水処理の困難さがついてきます。
よって、排気設備を用意して頂いて、硫酸＋過酸化水素系をお勧めします。

銅を溶解除去するのなら、単純に硝酸や、硫酸+過酸化水素水で可能です。
AINがどんな材料なのか判れば、もっと正確にお答えできるのですが。

物理的な研磨でも良いのですか？
ブラシで研磨可能です。
ブラシの選定、加工方法によっては基材を痛めずに研磨可能です。（膜よ基材の硬度差がある場合。）

ブラストでも同様です。

その他にも、ご興味が有ればご連絡下さい。

ご相談に乗ります。

洗浄で落とすとなると確かにダメージが心配だと思います。ですので、AlN基材上に溶射膜をつけてその上にCu膜を付けます。そうするとAlNにほとんどダメージを与える事無く除膜洗浄可能です。溶射膜でもいろいろな種類がありますので、目的に応じたものを適用できると思います。半導体や液晶のスパッタシールド等ではこの方法が主流となっています。
一度詳細お聞かせください。