窒化珪素の加工について

nomuraさんのおっしゃるように
ワークを立てて固定し、
厚み1.2ｍｍの円盤状砥石を使用して
加工できないものでしょうか？

あくまでインターナル、
φ1.2ｍｍ軸付き砥石を使用しての加工となると、
この場合、かなり難易度が高いと思われます。
ワーク厚みが0.95とのことなので、
溝の深さはそれほどでもない
ということなのでしょうか？
もしもこの状況で私が加工するならば・・・
１、砥石は電着軸付き砥石、粒度200番以下、
　　シャンク材は焼き入れ鋼もしくはハイス鋼、
　　砥石端面中心に凹アリ、
　　シャンクの長さは加工可能な限界まで短く。
２、出来るだけ多くの研削液を供給もしくは、
　　ワークの周囲を何かで囲い、
　　研削液の中にどぶづけした状態で加工。
３、加工条件は砥石回転10000ｒｐｍ以上、
　　Ｚ軸方向の切り込み量0.0020.005、
　　切削送り速度Ｆ50100程度
　　（状況によってはもっと遅く・・）。
４、砥石を数本以上用意し、
　　出来るだけ安全圏内で早めに砥石を交換する。
５、ワーク上面はチッピング（微細なカケ）
　　が発生する可能性が高いので、
　　エッヂ部に面取りが出来ない場合、
　　あらかじめワークの厚みを
　　少し厚めにしておき、溝加工後に
　　厚み加工を再度おこなって
　　チッピング分を除去する。

などで対応すると思います。

とにかくシャンクの耐久性が
ポイントになりますので、
神経を使う加工であることには
間違いありません。
また、世間にはmr-kさんが紹介するような
超音波による加工や、
他には単結晶ダイヤのエンドミルなど
といった物が存在し、
そういったものの活用も充分に考えられます。

がんばって加工してみてください！！

arakawaさん
ご興味がございましたら、下記ＵＲＬをご覧になり、ご連絡を頂けましたら、対応をさせていただきます。

連絡先：加工部門まで

焼結体への加工ですか？もしくは焼結前の生加工でしょうか？
溝のサイズ（幅・深さ）、現在使用している加工機や工具をもう少し詳しくお教えくださればアドバイスできるかと思います。

高速スピンドルでもだめですか？
切削と言うより研磨でないと細径の加工は出来ないのではありませんか？
または、横軸で電着のダイヤモンドホイールを使ってはいかがでしょうか？