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薄物円盤の平面度測定方法とは？
2023/10/13 04:19
- 薄物円盤の平面度測定方法とはどのようなものがあるのでしょうか？現在の方法である定盤上での滑らせての測定では精度が不十分であり、バラツキも大きいという問題があります。
- 従来の測定方法では、ワークを定盤上に滑らせて、ダイヤルゲージやレーザー変位計で測定を行っています。しかし、測定毎にバラツキが大きく、正確な測定結果を得ることができません。
- 薄物円盤の平面度測定において、レーザー干渉計も検討されましたが、表面が梨地状態のため光が返ってこず、測定ができませんでした。そこで、より正確な測定方法や測定機についての情報を求めています。
薄物円盤の平面度測定
2003/12/10 17:53
円盤の平面度測定に腐心しています。
６インチの円盤ですが厚みは0.1mmです。
平行度はマイクロメータなどで厚みを測定し、最大値と最小値で読み取り可能ですが、平面度はそうはいきません。
これまではワークを定盤上に滑らせて、ダイヤルゲージやレーザー変位計で測定しましたが測定毎にバラツキが大きく、殆ど勘で測定値を読みとっている状況です。
レーザー干渉計も検討しましたが、表面が梨地状態なので光が返ってこなく測定できません。
なにか良い測定方法又は測定機などありませんか？
質問者が選んだベストアンサー
ワーク剛性がない場合、その部品の使われ方を
考えると良いでしょう。
例えば、この部品は回転させて使用するなら、
測定時にも同等の回転数で回転させて測定す
ると良いと思います。それが、設計意図のハズ。
どの様に保持しても、その保持方法による変形
が発生するなら、これ以外ないでしょう。
また、接触・非接触については、この場合は
やむをえず非接触を選択すべきでしょう。
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その他の回答 （3件中 1～3件目)
こんばんは
その円盤が、もし表面張力で水に浮く場合のアイデアですが・・・。
円盤が入る器に水を入れ、その上にそっと空気ダマリができないように円盤を乗せ、冷蔵庫の冷凍室で凍らせます。その後ドライアイスを入れた箱にその器を入れ、氷が溶ける前に３次元測定器で手短に測定してはいかがでしょうか。
※表に出ている面は霜等がつかないように、薄い油を塗っておいた方がいいかも知れません。
測定室の温度を下げ、プローブも短いのを使うようにした方がいいと思いますが、すみません、やった事が無いので、自信はありません。
お礼
2003/12/17 11:54
ありがとうございます。
ただ、使用時は常温と思われますので検査測定時の温度が氷点下であると誤差が大きいと思います。
確かに冷凍チャックは有りますが精度面ではどうなんでしょうか？
他のカテゴリーになってしまいますのでこの辺にしておきます。
通常は、真円度測定機でしょう。または、三次元
測定機です。安価な方法としては、ダイヤルデプス
ですが、ワークの剛性がない様なので難しいと思い
ます。
平行度は、マイクロメータでは測定できません。
全体的に反りかえっている場合をイメージして下
さい。マイクロ測定部の面積で厚みは一定でも
全体に反っている場合が考えられますよね？
定盤の上に置きで、ダイヤルゲージなどで測定
するのが一番です。平行度も真円度測定機や
三次元測定機で測定可能です。
お礼
2003/12/11 12:55
ご回答有り難うございました。
平行度の件はJISハンドブックを見てよく分かりました。認識不足でした。
さて、推察いただいたようにワークは薄く、剛性がありませんので、測定時、定盤上におくと定盤に倣ってしまう傾向にあります。何か定盤の平面度を測っているように錯覚してしまいます。また、例えば電気マイクロメーターなどのスタイラスを当てると結構測定値がばらつきます（±20μｍ-息をしているよう）。何か解決策はありませんか？たぶん測定圧によっては接触式プローブの真円度測定機、三次元測定機でもワークのたわみ？の影響が出ると思います。
非接触の方がよいのでしょうか。
お礼
2003/12/17 11:47
大変参考になりました。
ありがとうございました。