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真空容器のリークについて
2023/09/06 13:26
- 真空容器のリークに関しての検討
- Oリング溝の側面、底面、シール部の表面粗さが圧力上昇に関係している可能性
- 予算面の都合からヘリウムリークデテクタ等の装置を購入することが難しい
真空容器のリークについて
2004/06/23 21:25
お世話になります。初めて投稿いたします。
今回初めて真空容器を試作したのですが、排気に
関しては500secほどで目的の400Paに到達しました。
そこでバルブを閉じ圧力上昇試験を行ったのですが
10minほどで1000Paに、その後も圧力が上昇し続け
約5日ほどで大気圧に戻りました。
真空容器は円筒部の上下を丸板で蓋をしてあり
接合部にはOリングを挿入してあります。
ただ、図面の指示を間違えてOリング溝の側面、底面
また、Oリングのシール部の接触面の表面粗さを
Ra3.2と指示してしまいました。この表面粗さは
今回の圧力上昇に関係ありますでしょうか?
また、他にも原因が考えられますでしょうか?
せめて1週間ほどは400Paを維持したいと思っています
予算面の都合からヘリウムリークデテクタ等の
装置を購入することは厳しいため悩んでおります。
真空容器の仕様
容量:4L
材質:SS400 無電解ニッケルメッキ
ポート数4個所:バルブ、圧力センサ、残りの2個所
は沈みプラグで蓋をしてあります
真空ポンプの仕様
排気速度:7L/min 到達圧力:400Pa
以上、よろしくお願い致します
質問者が選んだベストアンサー
表面粗さRa3.2は,問題とならないと言われています。
http://www.packing.co.jp/ORING/mizoarasa.htm
しかし,実際にはそれでは漏れることがあったので,Ra1.6にしています。ヘリウムを使用しているのならば,空気より漏れやすいのでRa0.8にしたほうが良いと思います。
漏れの原因は,いろいろと考えられますので,漏れ個所を特定するために,実験的に容器をその容器よりも大きい容器に入れて,周囲に煙を漂わせて,煙の流れを見ると,ひょっとすると,漏れ個所が判明するかもしれません。ただし,容器強度が小さくて歪んでいないことが前提ですが。
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お礼
2004/06/24 11:12
yukioさん、早速のアドバイスありがとうございます。
加工屋さんに表面粗さを追加工でRa0.8に出来るか
どうか相談することにします。