真空チャンバ立上げ時の初期真空引きについて

Question

容積50L程の複数の真空チャンバの立上げを行なっています。
真空チャンバ単体の漏れ検査完了後　真空ポンプ、真空配管を接続して真空引きを数十分程行い欲しい真空10Pa程度までは到達するのですが、
真空引きを終わらせて(排気バルブ閉じる)放置すると数十分で50から80Kpa程に圧力が上昇してしまいます。
接続した配管系統からまだアウトガス出て来ているのか漏れが発生しているのかが判断つかず困っています。
こういった装置　真空チャンバの立上げ時のアウトガスを抜き切るための目安の真空引き時間
または正しい手順方法を教えて欲しいです。
ちなみに仕様で装置のリークレートは5PaL/s以下であることがうたわれています。

※OKWAVEより補足：「技術の森( 電子・半導体・化学)」についての質問です。

Accepted Answer

数十Paから50kPa~80kPaすなわち0.5～0.8気圧までの真空悪化という事は、チャンバー内部材に含浸しているガスの放出やエアポケットによる未排気領域からの漏れだしという線は考えにくいですね。(ガス放出総量が多すぎる)
なので、大気侵入を許す漏れがどこかにあることになります。
チャンバー単体のリークテストで問題がなかったのであれば、排気バルブのリークを疑います。排気バルブのリークテストか、排気バルブ下流にもう1個バルブを追加するなどして真空悪化速度の変化を確認することになります。
チャンバーのリークレートも仕様値でなく、現状の実測値を測定した方がよいかと思います。

Answer

>数十分で50から80Kpa程に圧力が上昇してしまいます。
百分後、２百分後の圧力は如何に？

百分後でも80Kpa付近なのか？　　＜所謂、サチッてるんでアウトガスと憶測可能
百分後では160Kpaなのか？　　＜サチれてないんで配管からの漏れと憶測可能

サチる
http://blog.ac.eng.teu.ac.jp/blog/2016/03/post-9ce2.html

Answer

真空引きを行うと内部の温度が下がり　時間の経過で外気温と同じに戻っていきます。
それが圧力に影響しているのではないでしょうか
10paだと約1%の空気しか残っていないので　その影響はないのかな。

真空チャンバ立上げ時の初期真空引きについて