このQ&Aは役に立ちましたか？
締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：接着剤塗布厚みの測定）
接着剤塗布厚みの測定方法とは？
2023/10/14 16:23
このQ&Aのポイント
- Siウエハとガラスウエハを接着剤で貼りあわせた時の接着剤の塗布厚みを非破壊で測定する方法について検討しています。
- 接着剤厚みは2μm前後であり、精度は数10nmあれば十分です。
- エリプソメーターやIR分光計、光干渉計などが候補として考えられますが、他に適切な方法があるかどうかアドバイスをいただきたいです。
※ 以下は、質問の原文です
接着剤塗布厚みの測定
2005/02/17 14:19
Siウエハとガラスウエハを接着剤で貼りあわせた時の接着剤の塗布厚みを非破壊で測定することを
検討中です。
接着剤厚みは2μm前後であることがわかっており、精度は数10nmあれば十分です。
候補としては、
エリプソメーター
IR分光計
光干渉計
を考えています。他に適切な方法はありますでしょうか
アドバイスよろしくお願いいたします。
回答 （1件中 1～1件目)
2005/02/21 09:36
回答No.1
以前似たようなことをしたことがあります。このときは日立製分光光度計（透過型）の干渉（波）の波長から求めました。ブランク（ガラス２枚のみ）がキャンセルできる装置ならすぐに測定可能かと思います。式は 2nd=Nλ（n;膜の屈折率 N；波のピーク数長い波長から何番目か？ λ；その時の波長）
このQ&Aは役に立ちましたか？
この質問は投稿から一年以上経過しています。
解決しない場合、新しい質問の投稿をおすすめします。
お礼
2005/02/22 09:23
ご回答どうもありがとうございます。
しかし、今回の場合ガラスとSiウエハの接着剤厚みを求めようとしているため、透過型の干渉計を用いることはできないように思えます。また、ガラス厚み、Si厚みも既知ではないため、接着剤の厚みのみをダイレクトに測定することが必要となります。
ご親切にありがとうございました。