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薄膜フィルムをピンと張る方法と冶具について
2023/10/15 01:19
- 薄膜フィルムをピンと張るための方法や冶具について教えてください。
- 現在の方法では薄膜フィルムを平らに貼り付けることが難しく、測定に影響が出ています。もっと簡単にピンと張る方法や冶具があれば知りたいです。
- 特に4μm厚みのフィルムを扱っているため、フィルムがたるんだり破れたりすることが多いです。対策やアイデアがあれば教えてください。
薄膜フィルムをピンと張るには？
2006/05/18 20:22
4μm厚みのフィルム上に（0.1から1μm厚＊100μ幅）の土手を形成し、その土手の厚みを光干渉式膜圧計で計測しています。平らな測定サンプルが作れれば、計測自体はうまくいくのですが、サンプル作りに悩んでます。
今のやり方は、ﾌｨﾙﾑを2cm＊3cm程度の大きさに切り、四方を張りながらﾃｰﾌﾟでﾌﾟﾚﾊﾟﾗｰﾄに貼り付けるというやり方です。干渉法は測定物の表面がﾌﾗｯﾄであることが重要ですが、薄いのでシワ、たるみがが入ってしまい、なかなかうまく行きません。貼っては測定して、たるみを除いて再測定して、また歪みを取って再々測定して、最悪はサンプルを最初から作り直して・・・・という試行錯誤です。ﾌｨﾙﾑが薄いので、たるみを取るのにﾃｰﾌﾟで張っている時にﾌﾞﾁｯと破れて涙することも度々あります。
このような薄いﾌｨﾙﾑを簡単にピンと張る冶具はないのでしょうか？円筒にﾌｨﾙﾑを置き、円筒の蓋をすると太鼓の皮張りみたいにピンとなる ような冶具です。W50mm＊D50mm＊H20mm以下の大きさで。
できたら市販品の商品名、自作なら作り方を教えて下さい。
回答 （3件中 1～3件目)
水分が問題ないなら、プレパラートの上に水（有機溶媒）をたらしてから
薄膜を置いて柔らかい物で下の空気やヨレを外側に押し出してやると
うまくいきます。
多少修練が必要ですが、簡単です。
水分有るうちは、表面張力で膜が動くこともありません。
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添付URLの、気孔径が通常よりも小さい（０．５μｍ程度）ため、そのようなフィルムの固定には適している可能性があります。１０μｍのフィルムですと凹みがないとの評価も得ています。デモ品の貸し出し等も可能ですので興味がございましたらお問い合わせ下さい。
空気軸受でよく使う多孔質材にフィルムを載せ、反対面から真空で引けば密着すると思います。
多孔質材には、色々な材質（セラミックス、カーボン、銅系）があり、空気が多孔質内を通る抵抗（浸透率）を調整できますのでうまく行くかもしれません。
また、精度もこの面積で平面度数μmの加工は可能です。
まったく経験のない分野ですが参考になれば幸いです。
お礼
2006/05/19 15:54
回答ありがとうございます。
測定器ﾒｰｶｰに相談し、多孔板への吸引吸着法と静電吸着法を試みたことがありましたが、
・静電吸着法はうねりを取れきれない
・多孔板法は、多孔質の孔によって微小な凸凹がフィルムにでき、ノイズとしてのっかってしまう
ため、断念しました。
測定器ﾒｰｶｰに言わせると、薄膜ﾌｨﾙﾑの場合は、張力をかけてピンっと張るしかないようです。