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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：精密研磨の際の治具について）
精密研磨でのチップ保持の方法について
2023/10/15 05:24
このQ&Aのポイント
- 精密研磨(平面・平坦化)で使用する治具について知りたいです。現在、5mm×5mm程度のシリコンチップの平坦研磨を行いたいのですが、チップと研磨面を平行に保持する方法がわかりません。
- 研磨精度は砥粒が0.05μm程度で、許容角度ずれ(θ)は0.001°です。使用環境は回転定盤と研磨バフまたは耐水フィルムを使用する機械研磨です。
- 小さいチップを研磨面と平行に保つ方法を教えていただきたいです。研磨以外の方法でも構いませんが、加工精度を満たす必要があります。
※ 以下は、質問の原文です
精密研磨の際の治具について
2006/01/12 13:11
現在、精密研磨(平面・平坦化)で困っています。
5mm×5mm 程度の大きさのシリコンチップの平坦研磨を行いたいのですが、
チップと研磨面を平行に保持することが出来ません。
(研磨精度：砥粒=0.05μm程度, 許容角度ずれ(θ)=0.001 °)
使用環境：回転定盤＋研磨バフor耐水フィルムを用いた"機械研磨"
このように小さいチップを研磨面と平行に保つ方法をご存知の方、
どうかお教え頂けないでしょうか。
(加工精度を満たすのならば、研磨以外の方法でも大丈夫です)
よろしくお願い致します
回答 （1件中 1～1件目)
2006/01/12 13:48
回答No.1
こんにちわsakuと申します。
ご質問の内容を拝見いたしました。
現在の加工方法は片面の研磨加工かと思われますが
片面研磨では難しいのではと思います（バフをお使いになったら尚更で・・）
このサイズですと、２B、３Bサイズの両面研磨機でやられた方が良いかと思います。
但し、バランスをとるために各装置サイズにあったワーク数量は必要になりますが・・・
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お礼
2006/01/12 14:25
sakuさん、ご返答ありがとうございます。
確かに、現在私が用いている加工方法は片面の研磨加工になります。
アドバイスにある２B,３Bサイズの両面研磨機について
調査を行ないたいと思います。
お忙しい中ご返答頂き本当にありがとうございました。