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ウェハーの2Dコードのことで質問です。

2007/10/25 17:58

ウェハー上に刻印されている2Dコードを2Dコードリーダーで読み取りたいのですが、どこに刻印されているか位置が不明です。

ウェハーのサイズは300mmと200mmを使用します。

200mmの場合はノッチとオリフラで刻印の位置が違うと思います。

寸法が記載されているような資料はありますでしょうか?

よろしくお願いします。

回答 (1件中 1~1件目)

2007/10/29 15:23
回答No.1

レーザーマークは、SEMIスタンダードに規格が明記されています。

尚、日本のデバイスメーカーは、独自要求する事もありますので
注意が必要です。
(300mmは、スタンダードで裏面、200mmは表面だった記憶)

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