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2007/10/25 17:58
ウェハー上に刻印されている2Dコードを2Dコードリーダーで読み取りたいのですが、どこに刻印されているか位置が不明です。
ウェハーのサイズは300mmと200mmを使用します。
200mmの場合はノッチとオリフラで刻印の位置が違うと思います。
寸法が記載されているような資料はありますでしょうか?
よろしくお願いします。
レーザーマークは、SEMIスタンダードに規格が明記されています。
尚、日本のデバイスメーカーは、独自要求する事もありますので
注意が必要です。
(300mmは、スタンダードで裏面、200mmは表面だった記憶)
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