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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：アルミニウムの耐シリコンガス性について）
アルミニウムの耐シリコンガス性について
2023/10/15 14:43
このQ&Aのポイント
- アルミニウムはシリコンガスの影響を受けるのでしょうか？
- アルミニウムはシリコンガスによってどのような影響を受けるのでしょうか？
- アルミニウムとシリコンガスの関係について教えてください。
※ 以下は、質問の原文です
アルミニウムの耐シリコンガス性について
2007/06/11 20:09
アルミニウムはシリコンガスの影響を受けますか？
受けるとすればどんな影響を受けるのでしょうか？
教えてください。
質問者が選んだベストアンサー
ベストアンサー
2007/06/12 16:06
回答No.1
シリコンガスって、モノシランとかジシランあるいは四フッ化ケイ素のことでしょうか？
答えになるような知見はありませんが、Ｓｉはある種の金属と反応してシリサイドをつくります。
Al-Siのシリサイドもあるようですが、実際にどんな条件で反応するかは知りません。
私の経験では、SiH4雰囲気下のタングステンヒーターが高温でW-Siのシリサイド化してポロポロに劣化したことがあります。
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お礼
2007/06/13 17:19
ご回答有り難うございます。
参考にさせて頂きます。
（使用するのはジメチルシリコーンとの事です）