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アルミニウムの耐シリコンガス性について
2007/06/11 20:09
アルミニウムはシリコンガスの影響を受けますか？
受けるとすればどんな影響を受けるのでしょうか？
教えてください。
質問者が選んだベストアンサー
シリコンガスって、モノシランとかジシランあるいは四フッ化ケイ素のことでしょうか？
答えになるような知見はありませんが、Ｓｉはある種の金属と反応してシリサイドをつくります。
Al-Siのシリサイドもあるようですが、実際にどんな条件で反応するかは知りません。
私の経験では、SiH4雰囲気下のタングステンヒーターが高温でW-Siのシリサイド化してポロポロに劣化したことがあります。
お礼
ご回答有り難うございます。
参考にさせて頂きます。
（使用するのはジメチルシリコーンとの事です）
2007/06/13 17:19
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