バイアル中の真空度の測定方法について

2007/05/31 16:56

中身が真空になっているガラスバイアル中の真空度を非破壊検査する装置を使用しています。
測定原理は、バイアルの外から高周波高電圧を印加したときに、高真空であればバイアル中に放電が生じるので、その電流値を測定することによって真空度を検査するというものです。
（数十torrレベルでの弁別が可能）

本装置は20年程度前から使用しているのですが、現在、この他の測定原理によって、更に精度高くこのような検査をすることができる方法はないのでしょうか。

簡単な質問で申し訳ありませんが、御回答いただければ幸いです。
宜しくお願い申し上げます。

noname#230358

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回答（1件中 1～1件目)

noname#230359

2007/06/01 19:46

回答No.1

以前テレビブラウン管の製造で採用されていた技術に、
加熱真空中のアルミ蒸着を膜厚測定して真空度を検出す
る方法がありました。測定は多くのチェック項目がり、
再現性・精度も不確かだったですが、高真空度測定が
出来たように思います。(忘れましたが10トールとか)
　　　　　　ご参考まで、

お礼

回答いただき有難うございます。

勉強不足で申し訳ありませんが、ブラウン管の製造後に内部の真空度を測定する技術としてこのような方法があるのでしょうか。
ブラウン管内の真空度は10e-7torr程度のようですので、今回必要としている真空度から比較するとかなり高真空領域での測定技術のようですね。
今回測定の対象にしているものは真空バイアルで内部に何もなく（薄膜等がない）、この技術の適用は難しそうですが、参考にさせて頂きます。
有難うございました。

2007/06/04 10:21

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