マスフロメータを使用した漏洩検査方法について

マスフローの場合、温度による計測値のバラツキは少ないと思いますが、マスフロー流量計の基本原理は直接ワークの漏れを計測することではなく、ワーク洩れによる一次側エアの流れを計測する為、計測精度は一次側のレギュレター性能に大きく影響されます。微小漏れの場合、決していいとはいえません。
圧力降下式では正しく計測不可能の場合、差圧式の方はどうでしょうか。ワークとマスタ両方に同じテスト圧を充填する為、熱膨張による内圧変化を相殺する事により、多くの場合正しい計測結果を得られるはずと思いますが

電磁弁のリークテストにマスフローメータは大量に使われています。
マスフローメーカ：エステックなど
流量：1cc/MIN（ゴムシール部）100cc/min(メタルシール部）
許容漏れ量がこの程度なら、マスフローは適切です。

最近エアー式漏れ試験器で、環境変化にも対応できる製品が開発されています。マスフローセンサを漏れ試験に活用したもので、昨年ビックサイトで開催された真空展で見つけました。試験方法も従来の差圧式のものではなく、質量変化で捉えていますし、ヘリウムリークディテクタと同じように、モニターを通して漏れを継続的に測定できます。差圧式の大きな欠点は、断片的な測定になってしまい、もし測定時に環境変化があった場合、誤ったままの測定になってしまうことです。漏れの状態や量を確認することもできません。また、マスターワークの管理も大変となります。このようなことから、バラツキも当然多くなってしまいます。
同器は、エアーリークディテクタと呼ばれていますが、温度補正対策もできていて、精度も高く、安定した測定が可能といえます。ただ、測定時間（タクト）の面で、差圧式のような断片的な測定ではないので、多少時間がかかることです。
この情報は、http://www.sastem.co.jp/ で確認することができます。

マスフローメーターでの漏洩検査というのは
私はちょっと聞いたことがございません。。。。

マスフローで漏洩検査となると、mL/minという単位と想像しますので、
私が取り扱っているものと比較するとかなりの漏れ量です。

被検査対象品がバルブの弁座漏洩検査なら、マスフローで
みることも可能と思いますが、気密検査はちょっとやそっとでは
できないと思います。

>>漏洩した質量or容量を計測すべきだと考えています。
同意致しますが、どちらかというと、漏れ量が少ない場合、
漏れの判断が困難であることから、
計測する方が適している場合が多いと考えます。
（例えばHeリークディテクター 等）


漏れ量が多い場合、被検査品がどんなものかわかりませんが、
断熱して温度が上がらないようにし、
圧力センサーで圧力変化をプロット（もしくは取り込む）、
やっぱり圧力ダウンを見るほうが簡単な気がします。

雑談みたいになって誠に恐縮です。

私共は金属加工品を取り扱ってます。
検査方法はさまざまあり、被検査品の大きさと仕様によって、
・水没
・スヌープ（発泡）
・加圧放置（ゲージダウン）
・真空（Heリーク）
を使用しています。

リークテスターとリークディテクターの違いというのは言葉の定義
かと思うので、、、、、自信はありませんが、
個人的な意見としては、リークテスターが広義のもので、
そのなかにリークディテクターが含まれると捉えます。

Heを使用しているのは、原子半径が小さいので微小な隙間を通りやすい、
大気中にほとんど存在しないもの、ということで高感度に漏れを
検出できる為、広く使われております。

被検査品に樹脂が多く含まれる場合、Heが樹脂を透過しやすいため、
高感度なリーク試験には向きません。

尚、ゲージダウンの検査では圧力の他に温度も測定し、
温度変化に対して圧力の補正を自動で行うものもあります。
温度変化が短時間で、大きい場合は向かないかと思います。

お礼

2007/04/05 05:58

ご教示、ありがとうございます。
検査環境の改善は現状ではちょっと難しいので、圧力センサは難しいですね。ミリアルドさんのところでは、どのような機材でどのように検査を実施しているのでしょうか。支障の無い範囲でご教示いただければ、幸いです。また、Heリークディテクターとの記載がありましたがリークテスターとはどのように違うのでしょうか。また、なぜHeを使用するのかについてもお聞かせいただけたら幸いです。お礼が再質問になり、申しわけございません。

質問者