銅の結晶粒径を調査するための腐食液とは…

2008/07/03 15:03

どういった腐食液があるのでしょうか？
やはり塩化第二鉄系が一般的なのでしょうか。
あるいは、電解と化学エッチングでのそれぞれのメリット、デメリットはありますのでしょうか。
どなたかお分かりになる方おられましたらご教示下さい。

noname#230358

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回答（3件中 1～3件目)

noname#230359

2008/07/04 19:51

回答No.3

弊社では硫酸、過酸化水素系の薬品を使っています。
ところが、そのHPを見に行ったのですが、当該製品が出てきませんでした。（製造中止？）
おめがねに適うかどうかは判りませんが。「化学研磨」で検索してみてはいかがでしょうか？

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noname#230359

2008/07/04 10:31

回答No.2

「金属データブック」に各種合金用の腐食液が載っています。
Cu、Cu合金用の腐食液として１１種類があり、その中で粒界を腐食すると
記載されている液は
水５０ｃｃ＋水酸化アンモニウム５０ｃｃ＋３０％過酸化水素水２０ｃｃ
です。
小生自身は使用したことがないので明言はできませんが、試されてみては
いかがでしょうか。

電解エッチングには直流電源が必要ということがありますが、電解エッチ
ングと化学エッチングは、優劣があるというよりも、必要に応じて使いわ
けるものと思います。化学エッチングでは現出できない組織でも、電解エ
ッチングならば現出するという事例もあります。

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noname#230359

2008/07/03 17:29

回答No.1

専門家ではありません。

以下を確認下さい。
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0
http://www.ebd.co.jp/pcc/goods/etching/index.html
又、『銅』『エッチング』『結晶粒径』でも、サイト検索確認して下さい。

コスト（装置価格と設置場所）メリットだと思います。
以下が、スパッタ装置の一例です。
http://www.sanyu-electron.co.jp/seihin/lst_sptr.html