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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SiCコートについて）
SiCコートについて
2023/10/17 11:17
このQ&Aのポイント
- SiCコートについてCVD法を調査しています。
- 基材には黒鉛（グラファイト）が使用されることが多いようですが、SUSなどの他の材料を使用することはできないようです。
- 黒鉛（グラファイト）が基材にならない場合は、DLCコートを施すことで代替が可能かもしれません。
※ 以下は、質問の原文です
SiCコートについて
2009/10/05 19:36
CVDによるSiCコートについて調べています。いろんな会社のホームページなどを見ていると基材が黒鉛（グラファイト）しかないのですが、基材にSUSなどを使用することが出来ないのでしょうか?
もし、黒鉛（グラファイト）しか基材にならないのであればDLCコートすればつくようになるのでしょうか？
質問者が選んだベストアンサー
ベストアンサー
2009/10/06 13:47
回答No.2
CVD-SiCは一般的に1000℃以上の加熱雰囲気を必要としますので耐熱性が
ないと基材が溶けます．
また線膨張率もSiCと略同一でないと冷却したとき割れます．
従って基材として使える材料は，グラファイト或いは（別の）SiCなどに
限られてきます．
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その他の回答 （2件中 1～2件目)
2009/10/06 13:31
回答No.1
自信がありませんが、カシオさんのＨＰ資料をみてみれば参考になるかと
思います。
お礼
2009/10/06 16:44
ありがとうございます。
ｶｼｵのHP探して見ます。
お礼
2009/10/06 16:38
回答ありがとうございます。
まさに的を得た回答でかなり助かりました。
SiCを使用する場合は基材にも色々と制約があるということがよく分かりました。